Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
rdfs:seeAlso
| |
Description
| - The project deals with the detection of true SEs with suppressed influence of undesirable BSEs, which is one of the pending issues in the ESEM. The detection principle is based on the deflection of the SEs by an electrostatic field applied by separation grid around the specimen and by a retarding grid towards the detection electrode positioned in the plain of the specimen. A suitable configuration of the electrostatic fields also allows an efficient suppression of the SEs, which arise as the products of the impact between the BSEs and molecules of gases. The result of the detection system function will be evaluated by measuring the contribution of backscattered electrons in the detected signal showing image contrasts. The attention will also be focused on the study of biological specimens and voltage contrast of semiconductor specimens with this detection system. (en)
- Projekt se zabývá jedním z dosud nevyřešených problémů v ESEM, a to detekcí pravých sekundárních elektronů způsobem, který výrazně eliminuje příspěvek nežádoucích zpětně odražených elektronů v signálu. Princip detekce spočívá v odklonění sekundárních elektronů prostřednictvím elektrostatického pole kolem vzorku (separační elektroda) a nad vzorkem (retardační elektroda) směrem k detekční elektrodě v rovině vzorku. Vhodná konfigurace elektrostatických polí umožňuje také účinnou separaci SEs, které vznikají jako produkt srážek BSE s molekulami plynu. Výsledek činnosti tohoto detekčního systému bude hodnocen na základě měření příspěvku zpětně odražených elektronů v signálu a ukázkou obrazových kontrastů. Pozornost je také věnována studiu biologických vzorků a napěťovému kontrastu polovodičových vzorků pomocí navrženého detekčního systému.
|
Title
| - Detection system for the record of the pure secondary electrons or backscattered electrons signals in ESEM (en)
- Detekční systém pro záznam signálů čistých sekundárních nebo zpětně odražených elektronů v ESEM
|
skos:notation
| |
http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
http://linked.open...hodnoceniProjektu
| |
http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - environmental scanning electron microscope; electron beam; gaseous secondary electron detector with separator; ISEDS; voltage contrast; non-conductive specimens; wet specimens (en)
|
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
http://linked.open...jektu+dodavatelem
| - Within the project there was designed a new system for detection of true secondary as well as backscattered electrons, which consists of three detectors. One of them, ISEDS detector, detects strongly amplified signal of energy selected electrons. (en)
- V průběhu projektu byl navržen nový systém pro detekci pravých sekundárních a zpětně odražených elektronů, který se skládá ze tří detektorů. Jeden z nich, detektor ISEDS, umožňuje detekci výrazně zesíleného signálu energiově selektovaných elektronů. (cs)
|
http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - environmental scanning electron microscope
- ISEDS
- electron beam
- non-conductive specimens
- voltage contrast
- gaseous secondary electron detector with separator
|
is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |