About: Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=KJB100100707
Description	The low temperature deposition of high quality oxide thin films by the multi-plasma jet system will be investigated. Advanced methods of 'in situ' plasma diagnostics will be used and extended. The main interest will be to deposit ferroelectric Ba1-xSrxTiO3 and PbZr1-xTixO3 thin films at low temperature with good dielectric and ferroelectric properties. These parameters will be measured in a wide range of frequencies and temperatures. The main target will be to control the structure with the size of crystallites, accuracy of required chemical composition, density of defects as oxygen vacancies and dielectric properties in dependence on the measured plasma parameters. The doped and gradient perovskite films should be deposited as well. The next target will be to deposit high quality anatase nanocrystalline films with high quality of structure, low density of vacancies and precise stoichiometry. The main interests will be to obtain high deposition rate and good photocatalytic properties. (en) Navrhovaný projekt bude zaměřen na nízkoteplotní depozici vybraných oxidových tenkých vrstev pomocí vícetryskového plazmového systému. K měření parametrů plazmatu v průběhu depozice budou použity a rozšířeny pokročilé diagnostické metody. Hlavním cílem bude depozice tenkých feroelektrických vrstev Ba1-xSrxTiO3 a PbZr1-xTixO3 za nízkých teplot s kvalitními dielektrickými a feroelektrickými vlastnostmi. Tyto parametry budou měřeny v širokém rozpětí frekvencí a teplot. Důraz bude kladen na kontrolovanou depozici z hlediska velikosti zrn, přesnosti požadovaného chemického složení, hustoty defektů, kyslíkových vakancí a dielektrických vlastností v závislosti na měřených parametrech plazmatu. Zvládnutí předchozích úkolů umožní deponovat gradientní perovskitové vrstvy. Dalším úkolem bude depozice vysoce kvalitních nanokrystalických vrstev anatasu s malou hustotou vakancí a přesnou stechiometrií. Cílem bude dosáhnout vysoké depoziční rychlosti a velmi dobrých fotokatalytických vlastností.
Title	Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes (en) Nízkoteplotní plazmatická depozice polykrystalických a nanokrystalických oxidových tenkých vrstev pomocí systému dutých katod
skos:notation	KJB100100707
http://linked.open...avai/cep/aktivita	The research grant projects for juniors
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/KJB100100707/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/KJB100100707/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2011-06-14 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	65950426
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	thin films; hollow cathode sputtering; plasmajet; BSTO; PZT; TiOx; emission spectroscopy; langmuir probe; impedance (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	9 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	9 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2009-04-28 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/KJB100100707
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2009
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2010
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SAV02007-B
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2009-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2007-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Hollow cathode plasma jet systems were studied by the deposition of BaxSr1-xTiO3, TiO2 and TiO2:N thin films. Emission spectroscopy, Langmuir probe and ion flux monitor on the substrate were used for plasma diagnostics. (en) Byl proveden výzkum plazmatických systémů s dutými katodami při depozici vrstev BaxSr1-xTiO3, TiO2 a TiO2:N. Pro diagnostiku plazmatu v těchto systémech byla použita metoda emisní spektroskopie,Langmuirovské sondy a měřní iontového toku na substrát. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	thin films BSTO PZT TiOx emission spectroscopy hollow cathode sputtering langmuir probe plasmajet
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100707/2007/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100707/2008/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100707/2009/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100707/2010/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 112 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software