About: Processes in the unipolar RF hollow cathode discharge induced in the plasma reactor

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Processes in the unipolar RF hollow cathode discharge induced in the plasma reactor Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=IAA1010827
Description	About ten years ago a new plasma-chemical reactor with supersonic plasma channel (RPJ) has been developed in the Institute of Physics AS CR. In this reactor the plasma channel is reated by means of the RF unipolar hollow cathode discharge which is superimpose on the primary RF plasma. Experimentally has been found that by means of the RPJ reactor the thin films with defined stoichiometry have been achieved and the thin films can be deposit on the internal walls of cavities, holes and complex shapeof hollow substrates. Recently the two hollow cathode RPJ reactor has been developed by means of which is able to deposit the composite thin films and multilayer structures. Furthermore the RPJ reactor can be used for the novel application for example for surface treatment of polymers and materials which is possible utilize in the medicine, ecological programs and biophysics. Up to now the RPJ reactor has been utilize mostly on the base of the empirical knowledge. (en) Na konci osmdesátých let byl ve Fyzikálním ústavu AV ČR vyvinut plazma-chemický reaktor pracující na novém principu generace plazmového kanálu pomocí indukovaného RF výboje v duté katodě, který se superponuje na RF výboj a reaktoru. Experimenty ukázaly, že pomocí tohoto reaktoru je možné nanášet tenké vrstvy s definovanou stechiometrií a nanášet tenké vrstvy do dutin a na substráty komplikovaných tvarů. V poslední době byl vyvinut dvoukatodový systém, pomocí kterého je možno nanášet kompositní vrstvy a vícevrstevnaté struktury. Uvedený reaktor tak může nahradit některé dosavadní technologie, které mají negativní vliv na životní prostředí, a dále umožnit zavedení nových technologií využitelných např. v medicíně, ekologii a v biofyzice. Ve většině případů se však dosud reaktory s dutou katodou využívaly na základě převážně empirických zkušeností bez komplexního studia procesů v nich probíhajících. Cílem předloženého projektu je proto provést komplexní studium procesů ve zmíněném reaktoru.
Title	Processes in the unipolar RF hollow cathode discharge induced in the plasma reactor (en) Procesy v jednopolovém RF výboji s dutou katodou indukovaném v plazmatickém reaktoru
skos:notation	IAA1010827
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IAA1010827/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IAA1010827/celkoveNaklady
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	596692
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	5 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	5 (xsd:int)
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2001
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2001
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Byl vypracován model základních procesů pro nízkotlaký RF doutnavý výboj v unipolární duté katodě. Výsledky byly využity pro optimalizaci parametrů procesu depozice tenkých vrstev. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010827/1998/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010827/1999/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010827/2000/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010827/2001/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software