About: Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=IAA1010110
Description	The development of novel and modified thin film deposition techniques, study of their possibilities and characterization of discharge plasma is very important for creation of new types of thin films, multilayers, complex and doped layers, graded coatings, waveguiding films, nanostructures, etc. The improvement of present deposition systems, and construction of new hybrid deposition techniques, is necessary. Our attention will be focused on development of systems combining pulsed laser deposition witah concentrated RF and hollow cathode discharges, and magnetron sputtering. The RF biasing and laser modification of the film surface sill be also applied to inhance density and crystallization of the growing films. Formation processes in discharge plasma will be studied by diode-laser spectroscopy, OES, Langmuir probes and CCD camera. Films will be characterized by WDX, XRD, XPS, STM, SEM, Raman spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Microhardness and adhesion will be also tested. (en) Vývoj nových a modifikovaných depozičních technik, studium jejich možností a charakterizace plazmy jsou velmi důležité pro tvorbu nových typů tenkých vrstev a multivrstev, složitých a dopovaných vrstev, gradovaných pokrytí a vrstev s proměnným materiálovým profilem, vlnovodových vrstev, nanostruktur, atd. Tyto úkoly vyžadují zdokonalení současné depoziční techniky a vývoj nových hybridních depozičních systémů. Naše pozornost bude soustředěna na vývoj systémů kombinujících pulsní laserovou depozici s RF výboje, výbojem v duté katodě a s magnetronovým naprašováním. Zlepšené krystalizace a zhutnění vrstev bude dosaženo pomocí RF polarizace a laserové modifikace povrchu podložky. Procesy ve výbojovém plazmatu budou studovány pomocí diodové laserové spektroskopie, OES, Langmuirovských sond a CCD kamery. Vrstvy budou charakterizovány pomocí WDX, XRD, XPS, STM, SEM, Ramanovské spektroskopie a spektroskopické elipsometrie. Měřeny budou také mikrotvrdost a adheze vrstev.
Title	Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition (en) Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev
skos:notation	IAA1010110
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IAA1010110/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IAA1010110/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2007-09-26 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	33611945
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Pulsed laser deposition; thin films; laser plasma; hybrid deposition techniques; radiofrequency discharge; hollow cathode discharge; optical emission spectroscopy; magnetron sputtering; plasma processes (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	2 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	45 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	45 (xsd:int)
http://linked.open...okUkonceniPodpory	2005
http://linked.open...okZahajeniPodpory	2001
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2006
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2006
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SAV0-AB2001
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Vyvinut a realizován hybridní laserový depoziční systém kombinující současně laserovou ablaci, magnetronové naprašování a radiofrekvenční výboje. Byly deponovány a studovány tenké vrstvy nových typů materiálů za atypických technologických podmínek. (cs) Hybrid laser based deposition system, combining laser ablation, magnetron sputtering and radiofrequency discharges were developed. New thin film materials created under specific deposition conditions were studied. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBBBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	Pulsed laser deposition hollow cathode discharge hybrid deposition techniques laser plasma magnetron sputtering optical emission spectroscopy radiofrequency discharge thin films
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2001/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2001/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2002/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2002/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2003/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2003/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2004/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2004/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2005/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2005/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2006/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2006/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2007/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA1010110/2007/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software