About: An investigation of low-temperature plasma in systems of a planar magnetron, in systems with hollow cathodes and a microwave surfatron

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: An investigation of low-temperature plasma in systems of a planar magnetron, in systems with hollow cathodes and a microwave surfatron Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GP202/09/P159
Description	The essence of suggested project is a purposeful investigation of plasma parameters in the low-pressure technological plasma reactors utilized for deposition of thin films. In the present time, there are several wholly different plasma sources - a planar magnetron, a plasma jet with hollow cathode, a microwave surfatron - dedicated for preparation of specific thin films and coatings, which are successfully used in the division of Optics of the Institute of Physics of the AS CR for deposition of thin films of perovskite oxides (STO, BTO, BSTO, PZT), TiOx, piezoelectric ZnO etc. on substrates made of various materials, e.g. polymers. A previous research showed that properties of thin films could be radically different if prepared by means of above mentioned plasma deposition systems. Therefore, it is desirable to investigate in detail attributes of these discharges and to carry out a basic comparative study of the plasma parameters, total energy flux density on a substrate and the properties of deposited thin films among these plasma sources. Then acquired knowledge should enable us partly to understand plasma properties of different plasma sources and to optimize the deposition process in the better way for concrete thin films by choosing of appropriate plasma source or their mutual combination. (en) Cílem projektu bude využití několika diagnostických metod plazmatu (Langmuirova sonda, kalorimetrická sonda, energetický analyzátor iontu, laserova absorpční spektroskopie, optická emisní spektroskopie) za účelem srovnávacího výzkumu vlastností technologických plazmatických depozičních systémů.
Title	An investigation of low-temperature plasma in systems of a planar magnetron, in systems with hollow cathodes and a microwave surfatron (en) Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu
skos:notation	GP202/09/P159
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Post-graduate (doctorate) grants
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F09%2FP159/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F09%2FP159/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2015-03-02 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	91732734
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	magnetron; dutá katoda; surfatron; plazmový kanál; pulzně generovaný výboj; tenké vrstvy; technologie (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	11 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	11 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2011-04-16 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/202%2F09%2FP159
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2011
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2012
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02009GA1PD
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2011-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2009-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	The project was excellent, both in terms of expertise and in terms of disbursement of funds. (en) Řešení projektu proběhlo na vynikající úrovni, a to jak z hlediska odborného tak i z hlediska čerpání finančních prostředků. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	magnetron dutá katoda plazmový kanál pulzně generovaný výboj surfatron tenké vrstvy
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F09%2FP159/2009/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F09%2FP159/2010/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F09%2FP159/2011/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F09%2FP159/2012/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 112 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software