About: Study of hybrid deposition process and its application for thin film deposition

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Study of hybrid deposition process and its application for thin film deposition Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GP202/08/P038
Description	This project focuses on investigation of behaviour of hybrid PVD-PECVD process, which will be used for preparation of nanocomposite n-Ti:C/a-C:H and a-BCN:H materials. In this hybrid deposition process, a gaseous hydrocarbon will be used as a source of carbon instead of its conventional sputtering from magnetron target. Hysteresis behaviour of this process together with properties of deposited thin films will be investigated and compared with those of PVD process. Comparative study for two types of hydrocarbons will be performed. Advanced model of reactive sputtering assuming nonuniform discharge current density will be developed. This model will be extended to accommodate the interaction of gaseous hydrocarbon with all surfaces in the deposition (en) Tento projekt je zaměřen na studium chování hybridního PVD-PECVD procesu, který bude využit pro přípravu nanokompozitních n-Ti:C/a-C:H a a-BCN:H materiálů. Jako zdroj uhlíku pro přípravu tenkých vrstev bude použit některý z plynných uhlovodíků dodávaný přímo do depozičního reaktoru, který zcela nahradí tradiční rozprašování uhlíkového terče. Hysterezní chování tohoto depozičního procesu a vlastnosti jím připravených vrstev budou srovnány s PVD procesem. Bude provedena srovnávací studie pro různé druhy uhlovodíků. Na základě provedených experimentů bude vylepšen stávající model reaktivního magnetronového naprašování. Tento model bude pracovat s nerovnoměrným tvarem hustoty výbojového proudu a bude rozšířen o interakci plynného uhlovodíku s povrchem magnetronové katody a stěnami depozičního reaktoru.
Title	Study of hybrid deposition process and its application for thin film deposition (en) Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev
skos:notation	GP202/08/P038
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Post-graduate (doctorate) grants
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F08%2FP038/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F08%2FP038/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2015-03-20 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	82381394
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	magnetron sputtering; hybrid PVD-PECVD; hysteresis behaviour; thin film deposition; nanocomposite; BCN (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Přírodovědecká fakulta
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	34 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	34 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2010-04-16 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/202%2F08%2FP038
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2010
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2011
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02008GA1PD
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2010-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2008-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	V rámci řešení projektu byl vyvinut hybridní PVD-PECVD proces, kdy dva konkurenční procesy přípravy tenkých vrstev – magnetronové naprašování a PECVD – byly provozovány současně. Bylo studováno chování tohoto hybridního procesu, kdy magnetronový terč byl rozprašován ve směsi obsahující plynný uhlovodík. Studovaný hybridní depoziční proces nevykazoval hysterezní chování, které je typické pro rea (cs) Hybrid PVD-PECVD process of target sputtering in hydrocarbon containing atmosphere was successfully developed. The process combines aspects of both conventional reactive magnetron sputtering (PVD) and plasma enhanced chemical vapour deposition (PECVD). Comparing to reactive magnetron sputtering, the hybrid PVD-PECVD process shows suppressed hysteresis behaviour, there are no different modes of op (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	magnetron sputtering hybrid PVD-PECVD hysteresis behaviour nanocomposite thin film deposition
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F08%2FP038/2008/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F08%2FP038/2009/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F08%2FP038/2010/orjk%3A14310 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F08%2FP038/2011/orjk%3A14310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software