About: Low energy ion scattering

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Low energy ion scattering Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GP202/05/P288
Description	The main goal of the project is to carry out elemental and structural analysis of surfaces and ultrathin films. LEIS is a suitable method for this purpose due to its extreme surface sensitivity. It is superior among other analytical methods in simplicityand speed of measured data processing. Hence it matches requirements for in situ deposition monitoring. Surface sensitivity can be specified to the outermost surface monolayer when an electrostatic energy analyser is applied. Other subsurface layers can be analysed with a ToF (Time of Flight) analyser. The elemental composition and structure of ultrathin films (in the range from one to ten topmost atomic monolayers) will be studied using LEIS spectrometers with both types of analysers. The fundamental objectives of the proposed project: 1) Examination of peak width and shape in LEIS spectra as a function of the thickness of analysed films. The results will be used for fast in situ monitoring of layer deposition at IFE FME BUT. 2) Defect detection in (en) Cílem projektu je prvková a strukturní analýza povrchů pevných látek a studium velmi tenkých vrstev. Metoda LEIS je pro tento účel velmi vhodná díky své extrémní povrchové citlivosti. Oproti ostatním analytickým metodám vyniká relativní jednoduchostí (rychlostí) zpracování měřených dat. Proto je velmi vhodná pro in situ měření depozičních procesů. Ve variantě s elektrostatickým energiovým analyzátorem lze povrchovou citlivost omezit na nejsvrchnější monovrstvu vzorku. S použitím průletového energiového analyzátoru ToF (Time of Flight) lze určovat prvkové složení i několika podpovrchových hladin. Kombinovaným použitím LEIS spektrometrů s oběma typy energiových analyzátorů bude studováno prvkové složení a struktura velmi tenkých vrstev (v rozsahu od jedné do deseti nejsvrchnějších monovrstev). Základní směry výzkumu v navrhovaném projektu: 1) Zkoumání a popis závislosti šířky a tvaru píků v LEIS spektrech na tloušťce analyzovaných vrstev. Výsledky budou použity pro rychlou in situ
Title	Low energy ion scattering (en) Nízkoenergiový rozptyl iontů LEIS
skos:notation	GP202/05/P288
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Post-graduate (doctorate) grants
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F05%2FP288/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F05%2FP288/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2008-10-17 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	71665714
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
http://linked.open...hodnoceniProjektu	S - Nesplněno zadání, bylo přistoupeno k sankčním ustanovením smlouvy
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	scattering; ion; atom; surface; ultrathin film; energy (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta strojního inženýrství
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	1 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	1 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2007-05-02 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/202%2F05%2FP288
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2007
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2008
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02005GA1PD
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2007-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BG - Jaderná, atomová a molekulová fyzika, urychlovače
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2005-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Both main ams of the project were fulfilled during the realization (TOF-LEIS spectrometer modification and its application for in-situ analysis of conducting and semiconducting thin films properties and for study of their growing modes on Silicon substra (en) V průběhu řešení projektu byly splněny oba základní plánované cíle (úprava TOF-LEIS spektrometru a jeho využití pro in-situ analýzu vlastností tenkých vodivých a polovodivých vrstev a mechanismů jejich růstu na křemíkových substrátech). V prvních dvou le (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	scattering atom ion surface ultrathin film
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F05%2FP288/2005/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F05%2FP288/2006/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F05%2FP288/2007/orjk%3A26210 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F05%2FP288/2008/orjk%3A26210

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 39 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software