About: Measurement of vapour pressure of metal organic and related precursors for use in nanostructure production

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Measurement of vapour pressure of metal organic and related precursors for use in nanostructure production Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA203/08/0217
Description	Knowledge of accurate data on vapour pressure of metal organic precursors such as carbonyles, acetylacetonates or metalocenes is essential for control and modelling of growth of semiconductor and metallic layers, nanostructures and nanoparticles. These structures are indispensable in optoelectronics and high speed electronics, in preparation of new semiconductor, dielectric, magnetic and ceramic materials, in catalysis and related chemical processes. Data on vapour pressure of metal organic precursors presented in literature often exhibit a great scatter or are unknown. Static apparatuses for vapour pressure measurement developed at ICT Prague and at IP AS CR (the latter for toxic and dangerous materials) are suitable for highly reactive precursors having low vapour pressure. The project is aimed at measuring and critically assessing vapour pressure data of metal organic and related precursors containing Ni, Fe, Mn, In, Sb and Li used in MOVPE and CVD. (en) Přesná znalost tlaku nasycených par organokovových prekursorů jako jsou karbonyly, acetylacetonáty či metaloceny je nezbytná pro řízení a modelování růstu polovodičových a kovových vrstev, nanostruktur i nanočástic. Tyto struktury jsou nezastupitelné v optoelektronice a vysokorychlostní elektronice, při přípravě nových polovodičových, dielektrických, magnetických a keramických materiálů, při katalýze i dalších chemických procesech. Hodnoty tlaku nasycených par prekursorů uváděné v literatuře se často navzájem značně liší nebo nejsou známy vůbec. Statické aparatury pro měření tlaku nasycených par na VŠCHT Praha a ve FZÚ AV ČR, v.v.i. (pro jedovaté a nebezpečné materiály) byly vyvinuty s ohledem na reaktivitu měřených látek a jejich nízkou tenzi. Cílempředloženého projektu je změřit a kriticky zhodnotit data o tlaku nasycených par organokovových sloučenin a dalších prekursorů obsahujících Ni, Fe, Mn, In, Sb a Li, které jsou používané a vyvíjené pro MOVPE a CVD.
Title	Measurement of vapour pressure of metal organic and related precursors for use in nanostructure production (en) Měření tenze par organokovových a dalších prekurzorů využitelných pro přípravu nanostruktur
skos:notation	GA203/08/0217
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA203%2F08%2F0217/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA203%2F08%2F0217/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2015-02-09 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	82299398
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	vapour presure; static method; organometals; precursors; nanostructures (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta chemicko-inženýrská
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	4 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	4 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2010-04-16 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/203%2F08%2F0217
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2010
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2011
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02008GA-ST
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2010-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2008-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	The goal of this project was to measure the vapor pressures (VP) of metal-organic (MO) precursors used for MOVPE which are of interest to the electronics and optoelectronic industries. The VP measurements of MO precursors present many challenges because many are pyrophoric, toxic, and also very expensive. No commercial equipment is available for these measurements and one has to design and build (en) Předmětem řešení tohoto projektu bylo měření tlaku nasycených par organokovových prekursorů používaných při výrobě struktur vhodných pro optoelektroniku i elektroniku metodou MOVPE. Jedná se o mimořádně reaktivní a toxické (i mimořádně drahé) látky a odpovídající experimentální zařízení pro tento typ měření není komerčně dostupné. V rámci grantového projektu byly modifikovány a rozšířeny aparatur (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	organometals precursors static method vapour presure
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2008/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2008/orjk%3A22340 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2009/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2009/orjk%3A22340 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2010/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2010/orjk%3A22340 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA203%2F08%2F0217/2011/orjk%3A22340

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 39 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software