About: The development and application of the supersonic multi-hollow-cathode systém for the plasma-chemical reactor

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: The development and application of the supersonic multi-hollow-cathode systém for the plasma-chemical reactor Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA202/98/0666
Description	The goal of the proposed project is to carry out the complex study of the physicals and the physical and the plasmachemical processes in the multi-hollow-cathode jet. The project is based on the results of the research obtained with one hollow-cathode plasma-chemical reactor. The experiments proved namely the major chemical activity in the generated plasma channel and showed that it is possible to deposit the thin films with the defined stoichiometry. Fot example Ge3N4, Cu3N and recently C3N4. From the point of view of further technological use of the reactor with the hollow cathode it can be shown that the use of the multicathode systém can enable to deposit the composite layers and complicated sandwich structures and also deposit the thin films onto hollow and substrates of the complicated shape. Furthermore preliminary experiments showed that it is possible to increase the working gas pressure up to the atmospheric one. For the development of the plasma-chemical reactor with the multi-cathode systé (en) Konfigurace plasmachemického reaktoru s jednou dutou katodou, která zároveň slouží jako tryska, kterou se vhání pracovní plyn do reaktoru se ukázala jako velmi perspektivní z hlediska nanášení tenkých vrstev a k povrchové úpravě materiálů. Experimenty totiž prokázaly velkou chemickou aktivitu v generovaném plazmatickém kanálu a ukázaly, že je možno nanášet tenké vrstvy z definovanou stechiometrií. Např. Ge3N4, Cu3N, v poslední době též byly provedeny experimenty s C3N4. Experimenty rovněž prokázaly, že je možno nanášet tenké vrstvy a provést povrchovou úpravu materiálů v dutinách a na substrátech komplikovaných tvarů. Z hlediska dalšího technologického využití reaktoru s dutými katodami se ukazuje velmi perspektivní, že použití multikatodového systému může umožnit nanášení kompozitních vrstev a složitých vrstevnatých struktur. Předběžné experimenty ukázaly, že je možno zvyšovat tlak pracovního plynu až do atmosferického tlaku. Pro vývoj plasmachemického reaktoru s multikatodovým systémem se ukazuje ja
Title	The development and application of the supersonic multi-hollow-cathode systém for the plasma-chemical reactor (en) Vývoj a plazma-chemické aplikace supersonického tryskového systému dutých katod v plazma-chemickém reaktoru
skos:notation	GA202/98/0666
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F98%2F0666/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F98%2F0666/celkoveNaklady
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	504079
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BI - Akustika a kmity
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Matematicko-fyzikální fakulta
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	3 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	3 (xsd:int)
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2000
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2000
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JI - Kompositní materiály JJ - Ostatní materiály
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Byla vypracována technologie úpravy povrchu a depozice vrstev pomocí nízko- i vysokotlaké RF plazmové trysky vhodná zejména pro úpravu povrchů dutin a nerovných substrátů. Přínosem je rovněž vyvinutý systém optické a sondové 'in situ' diagnostiky plazmat (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZKU
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1998/ico%3A00216224 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1998/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1998/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1998/orjk%3A12410 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1999/ico%3A00216224 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1999/ico%3A60076658 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1999/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/1999/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F98%2F0666/2000/orjk%3A11320

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 41 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2025 OpenLink Software