About: Electron-beam lithography for preparation of nanostructures     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
rdfs:seeAlso
Description
  • Actual electron-beam lithographic system BS 600 works with the limit resolution of 0.1 microns. Recently,we have received a couple of requirements for production of structures with better resolution.The aim of this project is to study a preparation of structures with the resolution below 100 nanometers. Thesolution has to address both the system part of the lithograph and the technological tissues concerning such a high resolution. As a result, nanostructures with extremely high resolution will be (en)
  • Stávající systém elektronového litografii BS 600 má mezní rozlišení 0.1 mikronu. V poslední době se objevila řada požadavků na realizaci struktur s lepším rozlišením. Cílem projektu je studium realizace struktur s rozlišením lepším než 100 nanometrů. Přiřešení je nutno brát v úvahu jednak úpravu vlastního litografického systému a jednak technologické požadavky vyplývajícíz realizace struktur s tímto velkým rozlišením. Výsledkem projektu by měly být postupy a techniky pro realizaci nanostruktur a vzorové struktury připravené v tomto rozlišení.
Title
  • Electron-beam lithography for preparation of nanostructures (en)
  • Elektronová litografie pro přípravu nanostruktur
skos:notation
  • GA102/05/2325
http://linked.open...avai/cep/aktivita
http://linked.open...kovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
http://linked.open...hodnoceniProjektu
http://linked.open...vai/cep/kategorie
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
  • Neuvedeno. (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
http://linked.open...inujicichPrijemcu
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
http://linked.open...okUkonceniPodpory
http://linked.open...okZahajeniPodpory
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
http://linked.open...atUdajeProjZameru
http://linked.open.../vavai/cep/soutez
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
http://linked.open...jektu+dodavatelem
  • Basic parameters of the e-beam writing system BS600 were improved. This results in a high speed system with sub 100 nm resolution. The most important tasks were:Decreasing the beam size by the factor of 2 (from 100 nm to 50 nm), theoretical analysis and (en)
  • V rámci řešení projektu bylo dosaženo zlepšení parametrů vlastního litografu i celé litografické technologie. Nosné body zahrnují zejména:Zmenšení minimálního rozměru svazku 2x (z původních 100 nm na 50 nm); praktické realizaci předcházela důsledná teore (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 44 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software