About: *Advanced automated nano structuring using electron and ion beams

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: *Advanced automated nano structuring using electron and ion beams Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=FR-TI2/756
Description	The aim of the project is a development of a new dual beam (FIB-SEM) machine for use in nanotechnology, nanosciences and industrial applications. It will combine existing advantages of FIB-SEM with advantages of the stage with an absolute precision similar to lithographic stages. This machine would enable to do automated local nano structuring. A new gas injection system will be integrated into FIB-SEM. The objective lens of the electron column will be newly designed in order to enable processing of wafers. Design of all these objectives will be verified by construction of a demonstrator and its testing. (en) Předmětem projektu je vývoj nového zařízení pro zkřížené iontové a elektronové svazky (FIB-SEM) pro nanotechnologie, nanovědy i průmyslové aplikace. Zařízení bude spojovat dosavadní výhody FIB-SEM spolu s výhodami stolku s přesností podobnou litografickým stolkům. Tím se docílí stroje schopného automatického vytváření nanostruktur. Do FIB-SEM zařízení bude dále integrován nový systém pro vstřikování plynů. Objektiv elektronového tubusu bude nově navržen tak, aby umožnil zpracování waferů. Návrh všech těchto prvků bude ověřen výrobou demonstrátoru a jeho testováním.
Title	Advanced automated nano structuring using electron and ion beams (en) Pokročilé automatické vytváření nanostruktur pomocí elektronových a iontových svazků
skos:notation	FR-TI2/756
http://linked.open...avai/cep/aktivita	TIP
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/FR-TI2%2F756/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/FR-TI2%2F756/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2014-07-14 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	92851747
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BF - Elementární částice a fyzika vysokých energií
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	VV - Vývoj
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	ion beam; electron beam; electron opitcs; electron detectors; FIB; GIS; nanomanipulator; injection system; wafer; nanotechnology; nanosciences; scanning electron microscope; ion beam deposition; ion beam etching (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	TESCAN, a.s.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	2 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	2 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2012-03-26 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/FR-TI2%2F756
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2012
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2013
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SMPO2010/01
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2012-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JP - Průmyslové procesy a zpracování
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2010-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	The goals and material contents of the project under subject were fulfilled within the defined extent and terms. (en) Cíle a věcná náplň předmětného projektu byly splněny ve stanoveném rozsahu a termínech. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	ion beam FIB GIS electron beam electron detectors electron opitcs injection system ion beam deposition nanomanipulator nanosciences nanotechnology scanning electron microscope wafer
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI2%2F756/2010/ico%3A41600240 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI2%2F756/2011/ico%3A41600240 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI2%2F756/2012/ico%3A41600240 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI2%2F756/2013/ico%3A41600240

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 41 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2025 OpenLink Software