Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
rdfs:seeAlso
| |
Description
| - *In this project we develop new commercially competitive scanning electron microscope for nanotechnologies and nanosciences with a special view to it high degree of modularity, improved resolution at low electron energies and simplicity while preserving other front-end parameters. This will be accomplished by design, fabrication, and implementation on novel SEM tube, by development and testing of novel cold emission elements prepared by industry-compatible plasma technology, by development and practical application of advanced analytical and technological modules as well as their combination in SEM, and by assembling a demonstrator of modular multifunctional SEM apparatus with application sheets for its practical use. (en)
- *Předmětem projektu je vývoj nového komerčně konkurenceschopného rastrovacího elektronového mikroskopu pro nanotechnologie a nanovědy se zřetelem na vysoký stupněm modulárnosti, zlepšeného rozlišení při nízkých energiích elektronů a jednoduchost při zachování ostatních špičkových parametrů. Toho bude dosaženo návrhem, výrobou a implementací nového tubusu REM, vývojem a testováním nových kompozitních prvků pro studenou emisi elektronů připravených průmyslově kompatibilní plazmovou technologií, vývojem a praktickým ověřováním provozu pokročilých analytických a technologických modulů a jejich kombinací v REM, a realizací demonstrátoru modulárního multifunkčního REM zařízení s aplikačními listy pro jeho využití.
|
Title
| - *Modular scanning electron microscope (en)
- *Modulární rastrovací elektronový mikroskop
|
skos:notation
| |
http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - electron optics; electron microscope; electron detectors; carbon materials; cold emission; nanomanipulators; electron beam induced currents; ion beam deposition; ion beam etching; nanotechnology; nanosciences; application sheets (en)
|
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - electron optics
- carbon materials
- cold emission
- electron beam induced currents
- electron detectors
- electron microscope
- ion beam deposition
- ion beam etching
- nanomanipulators
- nanosciences
- nanotechnology
|
is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |