About: New low temperature plasmatic deposition technologies of Ba1-xSrxTiO3 thin films for tunable microwave applications

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: New low temperature plasmatic deposition technologies of Ba1-xSrxTiO3 thin films for tunable microwave applications Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=1QS100100563
Description	On the basis of existing results of basic reseach, the aim of proposal is development of low temperature plasma methods for deposition of the thin films. The methods will be finally targeted to realisation of the base of industrial technological process for deposition of Ba1-xSrxTiO3 (BST) thin films structures for tunable microwave application. The main goal will be to achieve BST films with maximal dielectric constant ? and minimal losses tg ? in microwave range ? 10 GHz without necessity of post-deposition thermal treatment. The effort will be focused on obtaining thin films with required structures in the range from micro- to nanostructure phase by means of the control of deposition conditions. The next part of the results of targeted research will be development of new methods of BST films characterisation in the microwave range. (en) Na základě dosavadních výsledků badatelského výzkumu řešitelského kolektivu bude projekt zaměřen ve směru nízkoteplotních plazmových metod přípravy tenkých vrstev s konečným cílem vypracovat základy pro průmyslově využitelné technologie depozice Ba1-xSrxTiO3 (BST) vrstvových struktur pro laditelné mikrovlnné aplikace. Cílem bude dosažení maximální dielektrické konstanty ? a minimálních ztrát tg ? pro deponované BST vrstvy v mikrovlnném pásmu ? 10 GHz bez nutnosti tepelného zpracování po depozici. Cílem je vytvořit vrstvy s kontrolovatelnou velikostí zrn v rozsahu od mikro- až po nanostrukturu optimalizací a řízením depozičních podmínek. Další součástí cílených výsledků výzkumu bude vývoj nových metod charakterizace BST vrstev v mikrovlnném oboru.
Title	New low temperature plasmatic deposition technologies of Ba1-xSrxTiO3 thin films for tunable microwave applications (en) Nové nízkoteplotní plazmatické depoziční technologie tenkých vrstev Ba1-xSrxTiO3 pro laditelné mikrovlnné aplikace
skos:notation	1QS100100563
http://linked.open...avai/cep/aktivita	The supprot of targeted research projects (National proramme of research)
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/1QS100100563/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/1QS100100563/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2009-07-02 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	69355891
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	NV - Aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového výzkumu (tzv. %22neprůmyslový výzkum%22)
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Ba1-xSrxTiO3 (BST); thin films; plasmatic deposition; dielectric and optical properties; plasma diagnostics; microwave application (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	27 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	27 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2008-02-21 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/1QS100100563
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2008
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2009
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SAV02005-CI
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2008-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2005-07-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Na základě výsledků výzkumu získaných v rámci projektu byla vyvinuta nová nízkoteplotní plazmatická technologie přípravy tenkovrstvých Ba1-xSrxTiO3 struktur pro mikrovlnné aplikace bez nutnosti dalšího tepelného zpracování po depozici. (cs) New low temperature plasmatic deposition technology of Ba1-xSrxTiO3 films structures for microwave application without necessity of post-deposition thermal treatment was developed on the basis of research results achieved within the framework of project. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	plasma diagnostics thin films dielectric and optical properties plasmatic deposition Ba1-xSrxTiO3 (BST)
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/1QS100100563/2007/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/1QS100100563/2008/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/1QS100100563/2009/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/1QS100100563/2005/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/1QS100100563/2006/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software