About: Novel plasma sources for film deposition and surface modification

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Novel plasma sources for film deposition and surface modification Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=OC10045
Description	The project is aimed at plasma technologies with a high application potential. Research will be mainly focused on fundamental aspects of magnetron operation in three novel high-power pulsed systems. They will be used for high-rate deposition of carbon-based films, various oxide and nitride films and for deposition of high-temperature Si-B-C-N films. (en) Cílem projektu je objasnění fyzikální podstaty činnosti tří nových magnetronových systémů pro rychlou depozici vrstev a pulzní magnetronové depozice vrstev na bázi uhlíku a nových vrstev Si-B-C-N s mimořádně vysokou teplotní stabilitou.
Title	Novel plasma sources for film deposition and surface modification (en) Nové plazmové zdroje pro depozici vrstev a modifikaci povrchů
skos:notation	OC10045
http://linked.open...avai/cep/aktivita	COST
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/OC10045/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/OC10045/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2013-06-28 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	92928047
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Novel plasma sources; film deposition and surface modification; magnetron sputtering; high-power pulsed systems; carbon-based films; oxides and nitrides; high-temperature Si-B-C-N materials. (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta aplikovaných věd
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	13 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	13 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2012-02-27 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/1081%2F2011-320
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2012
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2013
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SMSM2010OC5
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2012-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JI - Kompositní materiály JJ - Ostatní materiály
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2010-05-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Nestacionární model byl použit k objasnění procesu vysokovýkonové pulzní magnetronové depozice. Dva pulzní magnetronové systémy byly využity k přípravě nevodivých oxidů a oxynitridů Ta-O-N, vysokoteplotních materiálů Si-B-C-N a nanostrukturních vrstev Zr-B-C-N. Výsledky byly publikovány v 5 článcích v mezinárodních časopisech a prezentovány ve 12 příspěvcích na mezinárodních konferencích. (cs) Non-stationary model was used for explanation of high-power impulse magnetron sputtering. Two pulsed magnetron systems were used to prepare non-conductive oxides and Ta-O-N oxynitrides, high-temperature Si-B-C-N materials and nanostructured Zr-B-C-N films. The results were published in 5 papers in international journals and presented in 12 contributions at international conferences. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	magnetron sputtering carbon-based films film deposition and surface modification high-power pulsed systems oxides and nitrides Novel plasma sources
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2010/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2011/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2012/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2013/orjk%3A23520

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 77 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software