About: Research, development and production of inovated temperature and chemical parts of furnaces for diffusion and LPCVD processes in Semiconductor industry.

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Research, development and production of inovated temperature and chemical parts of furnaces for diffusion and LPCVD processes in Semiconductor industry. Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
Description	Research and developement diffusion furances equipements for the LPCVD processes in semiconductor industry with improved operation control in temperature and gas flow functions. (en) Výzkumná část projektu řeší matematický model topných kazet pro zařízení na nanášení tenkých vrstev ve výrobě polovodičových součástek, tak zvané LPCVD procesy. Z matematického modelu je odvozen algoritmus řízení teploty, umožňující přesnější dodržení nastaveného technologického režimu. Součástí řešení je nákup vědomostního balíku z pracoviště vysoké školy, které rovněž autorizuje odbornou stránku řešení. Vývojová část projektu řeší zabezpečení výroby topných kazet, senzorů teploty, jejich měřicích tras, periodickou rekalibraci a provozní testování, návazně na výsledky výzkumné části projektu. Další vývojová část projektu řeší technologický uzel pro dávkování velmi nízkých koncentrací plynných příměsí na bázi teplotou řízené reakce plynu s kapalinou. (cs)
Title	Výzkum, vývoj a zavedení výroby inovovaných provedení tepelného a chemického uzlu v pecích pro atmosférické a LPCVD procesy HI-TECH polovodičových výrob fotovoltaických panelů. (cs) Research, development and production of inovated temperature and chemical parts of furnaces for diffusion and LPCVD processes in Semiconductor industry. (en)
http://linked.open...vai/cislo-smlouvy	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/smlouva/FI-IM4/165
http://linked.open...avai/druh-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/VS
http://linked.open...domain/vavai/faze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/53116306
http://linked.open...vavai/hlavni-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/JP
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/JQ
http://linked.open...i/hlavni-ucastnik	SVCS s.r.o.
http://linked.open...vavai/id-aktivity	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/FI
http://linked.open.../vavai/id-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/SMPO200700003
http://linked.open...n/vavai/kategorie	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/3
http://linked.open...vai/klicova-slova	Semiconductor devices production LPCVD processes equipements temperature and mass flow control research and developement. (en)
http://linked.open...avai/konec-reseni	2010-03-31 (xsd:date)
http://linked.open...nujicich-prijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...avai/poskytovatel	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/MPO
http://linked.open...avai/start-reseni	2007-04-26 (xsd:date)
http://linked.open...ai/statni-podpora	2733 (xsd:integer)
http://linked.open...vavai/typProjektu	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/P
http://linked.open...ai/uznane-naklady	9712 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu	1 (xsd:integer)
http://linked.open...cet-spoluprijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-vysledku	1 (xsd:integer)
http://linked.open...ku-zverejnovanych	1 (xsd:integer)
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2007/FI-IM4/165/ico-26218445 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2008/FI-IM4/165/ico-26218445 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2009/FI-IM4/165/ico-26218445 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2010/FI-IM4/165/ico-26218445 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2011/FI-IM4/165/ico-26218445

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 39 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software