Projekt se zabývá problematikou modelování technologických procedur pro účely charakterizace a optimalizace tenkých dielektrických vrstev. Charakterizace a související optimalizace poskytuje užitečné znalosti pro dosahování způsobilosti, stability a finální jakosti i bezporuchovosti finálních kondenzátorů. Projekt se zaměřuje na oblast exploratorního hodnocení technologického procesu, charakterizaci procesu, jeho modelování a monitorování ve vztahu k plnění specifikovaných požadavků. Plánovaný přístup k modelování procesu a řešení těchto problémů zahrnuje statisticky orientovaný pohled na problém a integraci technologických znalostí. Zvolený statistický přístup zde umožní určit kauzální vztahy mezi technologických proměnnými a sledovanými odezvami vztahujícími se ke kvalitě a bezporuchovosti za použití vhodných experimentálních plánů faktoriálních návrhů. (cs)
The project deals with issues of technological procedures modelling for characterization and optimisation purposes related to thin dielectric layers. Technological process characterization and optimisation gives useful knowledge's for process capability or stability setting and final capacitor quality and reliability properties. The project engage is therefore in the area of technological process exploratory evaluation, process characterisation, process modelling an monitoring related to given requirements. The planned approach to process modelling involves both statistically oriented thinking about the problem and the integration of the technological knowledge to deal with these problems. The selected statistical approach determines cause andeffect relationships between technological variables and responses related to quality and reliability by using appropriate factorial plans of experimental design. (en)