Cílem podávaného projektu je návrh a konstrukce optického měřicího přístroje určeného k in situ monitorování plošné homogenity tloušťky a optických parametrů tenkých vrstev. Zvolená metoda a rozsah vlnových délek použitého světla představují ojedinělý přístup k řešení daného problému, který podle dostupných znalostí členů týmu navrhovatele doposud nebyl k podobným účelům použit. Jednou z velkých výhod užití UV světla je vyšší citlivost závislosti spektrální odrazivosti na změny tloušťky rostoucí (odprašované) tenké vrstvy, než je tomu v případě použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti. Toto platí obzvláště pro velmi tenké vrstvy. Návrh a řešení navrhovaného projektu je založeno na znalostech a poznatcích členů týmu navrhovatele, které byly získány v průběhu úspěšného řešení předchozího projektu GAČR 101/98/0772, který se zabýval vývojem a konstrukcí podobného zařízení pracujícím ve viditelné oblasti spektra. Předpokládaným výstupem navrhovaného projektu by měla být registrace tohoto (cs)
The project proposal suggests to design and build an UV optical apparatus for in situ monitoring of areal thickness- and optical homogeneity of thin films. The method and selected UV wavelength region suggested for this task represents an unique approach, which to the best knowledge of the applicant, has not been used for similar in situ applications yet. The main advantage of the use of UV probing light consists in the fact that the changes in the reflectivity in the UV light region are more sensitive to the variations of film thicknesses than in the VIS-light region, particularly in case of thinner films. The project proposal is based on the knowledge and expertise of the applicant's team achieved during a former GACR project aimed at the development of similar apparatus in the VIS-light region. The possible outcome of the project proposal would be a patented design of the PC-controlled instrument working in the UV range (from 200 nm to 400 nm) of the probing light. A significant part of (en)