About: Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Cílem podávaného projektu je návrh a konstrukce optického měřicího přístroje určeného k in situ monitorování plošné homogenity tloušťky a optických parametrů tenkých vrstev. Zvolená metoda a rozsah vlnových délek použitého světla představují ojedinělý přístup k řešení daného problému, který podle dostupných znalostí členů týmu navrhovatele doposud nebyl k podobným účelům použit. Jednou z velkých výhod užití UV světla je vyšší citlivost závislosti spektrální odrazivosti na změny tloušťky rostoucí (odprašované) tenké vrstvy, než je tomu v případě použití světla o vlnové délce z viditelné oblasti. Toto platí obzvláště pro velmi tenké vrstvy. Návrh a řešení navrhovaného projektu je založeno na znalostech a poznatcích členů týmu navrhovatele, které byly získány v průběhu úspěšného řešení předchozího projektu GAČR 101/98/0772, který se zabýval vývojem a konstrukcí podobného zařízení pracujícím ve viditelné oblasti spektra. Předpokládaným výstupem navrhovaného projektu by měla být registrace tohoto (cs)
  • The project proposal suggests to design and build an UV optical apparatus for in situ monitoring of areal thickness- and optical homogeneity of thin films. The method and selected UV wavelength region suggested for this task represents an unique approach, which to the best knowledge of the applicant, has not been used for similar in situ applications yet. The main advantage of the use of UV probing light consists in the fact that the changes in the reflectivity in the UV light region are more sensitive to the variations of film thicknesses than in the VIS-light region, particularly in case of thinner films. The project proposal is based on the knowledge and expertise of the applicant's team achieved during a former GACR project aimed at the development of similar apparatus in the VIS-light region. The possible outcome of the project proposal would be a patented design of the PC-controlled instrument working in the UV range (from 200 nm to 400 nm) of the probing light. A significant part of (en)
Title
  • Design and construction of an Ultra-violet optical apparatus for in situ measurements of areal optical homogeneity of thin films prepared by IBAD (en)
  • Návrh a konstrukce UV optického měřicího zařízení k in situ monitorování plošné homogenity růstu tenkých vrstev deponovaných metodou IBAD (cs)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
http://linked.open...avai/druh-souteze
http://linked.open...domain/vavai/faze
http://linked.open...vavai/hlavni-obor
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
http://linked.open...i/hlavni-ucastnik
http://linked.open...vavai/id-aktivity
http://linked.open.../vavai/id-souteze
http://linked.open...n/vavai/kategorie
http://linked.open...vai/klicova-slova
  • Neuvedeno. (en)
http://linked.open...nujicich-prijemcu
http://linked.open...avai/poskytovatel
http://linked.open...ai/statni-podpora
http://linked.open...vavai/typProjektu
http://linked.open...ai/uznane-naklady
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
http://linked.open...cet-spoluprijemcu
http://linked.open...ai/pocet-vysledku
http://linked.open...ku-zverejnovanych
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 77 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software