About: Design and construction of the equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Projekt si klade za cíl navrhnout a zkonstruovat kompaktní měřící optické zařízení k plošnému in-situ měření tlouštěk a optických konstant tenkých vrstev. Funkce tohoto měřícího přístroje, jenž je založen na originální metodě detekce odraženého bílého světla CCD kamerou, bude optimalizována ve spojení se stávající vakuovou depoziční aparaturou, využívající k depozici tenkých vrstev dva širokosvazkové iontové zdroje Kaufmanova typu. Získané poznatky budou následně využity k řízení depozičního procesu aumožní tak uskutečnění cílených technologických zásahů v průběhu růstu vrstevnatého systému. Nespornou předností navrhovaného zařízení je jeho univerzálnost - principiálně jej bude možno využít k in-situ analýzám deponovaných tenkých vrstev vytvořených ijinými výše zmíněnými iontově-svazkovými technologiemi. Část návrhů jednotlivých komponent bude zajištěna diplomovými projekty studentů oboru fyzikálního inženýrství ÚFI FS Brno a náplní navazujícího doktorandského studia Realizace navrhovaného měřícího (cs)
  • The project proposal is aimed at a design and construction of the compact equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity. This equipment consists of a stable source of white light, CCD camera and dual spectrophotometer. The function of the instrument (based on an original method of the detection of the white light scattered from the growing thin film in a CCD camera) will be verified via its installation onto a vacuum deposition chamber containing two Kaufman's broad ion beam source- (IBAD). The results will be utilized in the deposition process control and thus we should be able to prepare the multilayer structures with a defined optical properties. The advantage of the apparatus is its wide applicability for in-situ control of thin films deposited by other technologies. In the project students of the Master and PhD degree cource will be involved. (en)
Title
  • Návrh a konstrukce zařízení pro in-situ měření plošné homogenity tenkých vrstev (cs)
  • Design and construction of the equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity (en)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
http://linked.open...avai/druh-souteze
http://linked.open...domain/vavai/faze
http://linked.open...vavai/hlavni-obor
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
http://linked.open...i/hlavni-ucastnik
http://linked.open...vavai/id-aktivity
http://linked.open.../vavai/id-souteze
http://linked.open...n/vavai/kategorie
http://linked.open...nujicich-prijemcu
http://linked.open...avai/poskytovatel
http://linked.open...ai/statni-podpora
http://linked.open...vavai/typProjektu
http://linked.open...ai/uznane-naklady
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
http://linked.open...cet-spoluprijemcu
http://linked.open...ai/pocet-vysledku
http://linked.open...ku-zverejnovanych
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 77 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software