About: Examination of nanostructures by electron beam     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Nově vyvinutý princip rastrovacího elektronového mikroskopu (REM) s katodovou čočkou dovoluje zobrazit vzorek v celém rozsahu energií elektronů s téměř neměnným rozlišením obrazu. V oblasti velmi nízkých energií (jednotky až stovky eV), které nejou k dispozici v klasickém REM (jednotky až desítky keV), je pozorována řada nových kontrastů, na jejichž tvrobě se účastní kolální chemická, krystalická i elektronická struktura vzorku. Interpretace je proto mnohdy nejednoznačná. Důležitou alternativou je kombinace s vhodnou komplementární technikou, zejména s rastrovací mikroskopií Augerovými elektrony pro zjištění lokálního prvkového složení do hloubky podobné rozsahu REM s pomalými elektrony. V rámci projektu bude dokončena ultravysokovakuová aparatura s autoemisním zdrojem elektronů, která umožní srovnání obou metod s prostorovým rozlišením v řádu nm. Po vypracování metody budou studovány vybrané polovodičové struktury, multivrstvy a kompozity na bázi kovových slitin. (cs)
  • Newly developed principale of the scanning electron microscope (SEM) with the cathode lens enables one to image the specimen within full scale of electron energies with nearly unchanged image resolution, In the very low energy range (units to hundreds of eV), not available in classical SEM (units to tens of keV), new contrasts appear that reflect local chemical, crystallinic and electronic structures of the specimen. The interpretation is hence often ambiguous. Important alternative is a combination with a complementary technique, particularly with the scanning Auger electron microscopy revealing the elemental composition within a depth similar to that of the low energy SEM. In the project frame an ultrahigh vacuum apparatus with a field-emission electron gun will be completed with both methods implemented at the image resolution in the nm range. The elaborated method will be applied to examination of selected semiconductor structures, multilayers and composites based on metal alloys. (en)
Title
  • Examination of nanostructures by electron beam (en)
  • Studium nanostruktur elektronovým svazkem (cs)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
http://linked.open...avai/druh-souteze
http://linked.open...domain/vavai/faze
http://linked.open...vavai/hlavni-obor
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
http://linked.open...vavai/id-aktivity
http://linked.open.../vavai/id-souteze
http://linked.open...n/vavai/kategorie
http://linked.open...vai/klicova-slova
  • low energy scanning microscopy; Auger electron microscopy; composites; metal alloys; ultrahigh vaccum; field emission (en)
http://linked.open...nujicich-prijemcu
http://linked.open...avai/poskytovatel
http://linked.open...ai/statni-podpora
http://linked.open...vavai/typProjektu
http://linked.open...ai/uznane-naklady
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
http://linked.open...cet-spoluprijemcu
http://linked.open...ai/pocet-vysledku
http://linked.open...ku-zverejnovanych
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 47 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software