About: A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition.

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition. Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
Description	The proposed project sets a target to carry out a diagnostics of several discharges generated at just slightly reduced or even at atmospheric pressure. These plasmatic systems working with flowing channels - plasma jets were developed recently and succesfully tested in section of Optics of Institute of Physics ASCR. The plasma is generated by means of DC, RF (13.56 MHz) or microwave (2.45 GHz) discharge and/or combination of those. These systems were already applied for low-temperature deposition of , CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx thin films and further oxides at sample material surfaces, e.g. polymers. For broader application of those systems the systematic in-situ diagnostic of generated plasma seems to be necessary. The proposed project envisages development of time-resolved calorimetric and Langmuir probe, laser absorption and emission spectroscopy and development of basic model describing a energy transfer from plasma on a substrate. (en) Navrhovaný projekt si klade za cíl provádět diagnostiku několika zdrojů plazmatu generovaných za sníženého, případně i atmosférického tlaku. Tyto plazmatické systémy pracující s proudícími kanály - plazmatické trysky byly nedávno vyvinuty a úspěšně vyzkoušeny v sekci Optika Fzú AV ČR. Plasma v nich je generováno pomocí stejnosměrného, vysokofrekvenčního (13,56 MHz) nebo mikrovlnného (2,45 GHz) výboje, případně jejich kombinacemi. Tyto systémy byly již úspěšně použity pro nízkoteplotní vytváření vrstev TiNx, CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx a dalších oxidů na površích různých materiálů, například polymerů. Pro širší uplatnění těchto systémů je však nutné provést systematickou in-situ diagnostiku generovaného plazmatu s cílem optimalizovat podmínky nanášení vrstev. Předpokládá se vývoj a použití časově rozlišené kalorimetrické a Langmuirovy sondy, laserové absorpční a emisní spektroskopie a vytvoření základního modelu přenosu energie z výboje do substrátu. (cs)
Title	A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition. (en) Diagnostika pulzního plazmatu generovaného v systémech s plasmovými kanály určených pro technologické aplikace depozice tenkých vrstev. (cs)
http://linked.open...vai/cislo-smlouvy	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/smlouva/KJB100100805
http://linked.open...avai/druh-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/VS
http://linked.open...domain/vavai/faze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/53181630
http://linked.open...vavai/hlavni-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/BL
http://linked.open...vavai/id-aktivity	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/KJ
http://linked.open.../vavai/id-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/SAV02008-B
http://linked.open...n/vavai/kategorie	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/1
http://linked.open...vai/klicova-slova	hollow cathode; plasma jet; calorimeter probe; Langmuir probe; emisive spectroscopy; laser absorption spectroscopy; time-resolved; thin film (en)
http://linked.open...avai/konec-reseni	2010-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...nujicich-prijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...avai/poskytovatel	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/AV0
http://linked.open...avai/start-reseni	2008-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...ai/statni-podpora	946 (xsd:integer)
http://linked.open...vavai/typProjektu	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/P
http://linked.open...ai/uznane-naklady	946 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu	1 (xsd:integer)
http://linked.open...cet-spoluprijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-vysledku	11 (xsd:integer)
http://linked.open...ku-zverejnovanych	11 (xsd:integer)
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2008/KJB100100805/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2009/KJB100100805/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2010/KJB100100805/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2011/KJB100100805/ico-68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 20 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software