About: Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
Description	The low temperature deposition of high quality oxide thin films by the multi-plasma jet system will be investigated. Advanced methods of 'in situ' plasma diagnostics will be used and extended. The main interest will be to deposit ferroelectric Ba1-xSrxTiO3 and PbZr1-xTixO3 thin films at low temperature with good dielectric and ferroelectric properties. These parameters will be measured in a wide range of frequencies and temperatures. The main target will be to control the structure with the size of crystallites, accuracy of required chemical composition, density of defects as oxygen vacancies and dielectric properties in dependence on the measured plasma parameters. The doped and gradient perovskite films should be deposited as well. The next target will be to deposit high quality anatase nanocrystalline films with high quality of structure, low density of vacancies and precise stoichiometry. The main interests will be to obtain high deposition rate and good photocatalytic properties. (en) Navrhovaný projekt bude zaměřen na nízkoteplotní depozici vybraných oxidových tenkých vrstev pomocí vícetryskového plazmového systému. K měření parametrů plazmatu v průběhu depozice budou použity a rozšířeny pokročilé diagnostické metody. Hlavním cílem bude depozice tenkých feroelektrických vrstev Ba1-xSrxTiO3 a PbZr1-xTixO3 za nízkých teplot s kvalitními dielektrickými a feroelektrickými vlastnostmi. Tyto parametry budou měřeny v širokém rozpětí frekvencí a teplot. Důraz bude kladen na kontrolovanou depozici z hlediska velikosti zrn, přesnosti požadovaného chemického složení, hustoty defektů, kyslíkových vakancí a dielektrických vlastností v závislosti na měřených parametrech plazmatu. Zvládnutí předchozích úkolů umožní deponovat gradientní perovskitové vrstvy. Dalším úkolem bude depozice vysoce kvalitních nanokrystalických vrstev anatasu s malou hustotou vakancí a přesnou stechiometrií. Cílem bude dosáhnout vysoké depoziční rychlosti a velmi dobrých fotokatalytických vlastností. (cs)
Title	Low-temperature plasmatic deposition of polycrystalline and nanocrystalline oxide thin films by systems with hollow cathodes (en) Nízkoteplotní plazmatická depozice polykrystalických a nanokrystalických oxidových tenkých vrstev pomocí systému dutých katod (cs)
http://linked.open...vai/cislo-smlouvy	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/smlouva/KJB100100707
http://linked.open...avai/druh-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/VS
http://linked.open...domain/vavai/faze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/36956072
http://linked.open...vavai/hlavni-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/BL
http://linked.open...vavai/id-aktivity	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/KJ
http://linked.open.../vavai/id-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/SAV02007-B
http://linked.open...n/vavai/kategorie	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/1
http://linked.open...vai/klicova-slova	thin films; hollow cathode sputtering; plasmajet; BSTO; PZT; TiOx; emission spectroscopy; langmuir probe; impedance (en)
http://linked.open...avai/konec-reseni	2009-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...nujicich-prijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...avai/poskytovatel	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/AV0
http://linked.open...avai/start-reseni	2007-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...ai/statni-podpora	1618 (xsd:integer)
http://linked.open...vavai/typProjektu	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/P
http://linked.open...ai/uznane-naklady	1618 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu	1 (xsd:integer)
http://linked.open...cet-spoluprijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-vysledku	9 (xsd:integer)
http://linked.open...ku-zverejnovanych	9 (xsd:integer)
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2007/KJB100100707/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2008/KJB100100707/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2009/KJB100100707/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2010/KJB100100707/ico-68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 20 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software