Langmuirova sonda dovoluje při nízkých tlacích neutrálního plynu měřit parametry nízkoteplotního plazmatu s přijatelnou přesnosti. Při vyšších tlacích neutrálního plynu se však uplatňuje vliv srážek nabitých částic s neutrály ve vrstvě prostorovéhonáboje v okolí sondy. Dostupné teoretické modely pro zavedení srážkových korekcí zatím nejsou v potřebném rozsahu tlaků a koncentrací experimentálně prověřené a obecně aplikovatelné. Navrhovaná sondová měření v dobře definovaných podmínkách UHV aparaturypro studium dohasínajícího plazmatu ve stacionárním a proudícím prostředí (stationary/flowing afterglow) přispějí k objasnění vlivu srážek na sběr nabitých částic sondou při vyšších tlacích v rozsahu cca do 1 kPa. Experimentální systém stejnosměrnéhoválcového magnetronu přináší při studiu plazmatu v magnetickém poli zjednodušení v geometrické konfiguraci. Homogenní axiální magnetické pole je zde kolmé na radiální pole elektrické. Profil koncentrace plazmatu naměřený v několika diskrétních axiálních (cs)
Langmuir probe can measure parameters of the low temperature plasma with acceptable precision only at low pressures. At higher pressures the effect of collisions between charged and neutral particles in the probe sheath plays important role. Existingtheoretical models introducing collision corrections of the probe current are not experimentally verified in the full range of pressures and plasma densities and therefore not universally applicable. Suggested Langmuir probe measurements in the welldefined plasma of the UHV stationary and flowing afterglow systems will contribute to the understanding of the influence of collisions to the Langmuir probe electron and ion current collection in the pressure range up to approximately 1 kPa. The study ofthe plasma in the magnetic field is simplified in the experimental system of cylindrical magnetron. The homogeneous axial magnetic field is perpendicular to the radial electric field. Radial density profiles measured at 5 different axial positions showed (en)