About: Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
Description	The aim of the project will be investigation of the low pressure multi- plasma jet sputtering system used for the temperature deposition of thin film perovskites structures as PZT (Pb1-xZrxTiO3), Sr2 MoFeO6, KNbO3 and KTaO3. The main target will be to obtain those films on polymer and plastic substrates. Properties of deposited films as ferroelectric behavior, structure, chemical composition, density of defects, optical properties etc. will be studied and correlated with the configuration of the multi-plasma jet system and properties of reactive plasma. Reactive sputtering of the nozzles working as hollow cathodes will be used for the deposition process. Radio-frequency excitation of high density hollow cathode jets will be used. Furthermore direct current plasma excitation in the case of conductive nozzles will be studied as well. In situ time resolved emission spectroscopy and fast RF compensated Langmuir probe system will be used for study of plasma parameters. (en) Cílem navrhovaného projektu bude studium nízkotlakého plazmatického vícetryskového naprašovacího systému, který bude použit pro nízkoteplotní depozici tenkých vrstev perovskitů (PZT(Pb1-xZrxTiO3),SrMoFeO6,KNbO3 a KTaO3. Hlavní cíl bude depozice těchto typů vrstev a polymerní a plastové substráty. Na deponovaných vrstvách budou zkoumány feroelektrické vlastnosti, struktura, chemické složení, hustota defektů, optické vlastnosti atd. Tyto parametry budou korelovány s různými konfiguracemi vícetryskového systému a parametry reaktivního plazmatu. Reaktivní rozprašování trysek pracujících jako duté katody bude využito pro depoziční proces. Výboj v dutých katodách bude generován pomocí vysokofrekvenčního vykonového zdroje. V případě vodivých dutých katod bude studováno navíc stejnosměrné buzení výboje v duté katodě. Pro diagnostiku plazmatu, která bude prováděna přímo při depozičním procesu bude použita časově rozlišená emisní spektroskopie a rychlá RF kompenzovaná Langmuirova sonda. (cs)
Title	Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films (en) Studium vícetryskového systému s plazmovými kanály a dutými katodami pro nízkoteplotní depozici perovskitových tenkých vrstev (cs)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/JB
http://linked.open...avai/druh-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/druh-souteze/VS
http://linked.open...domain/vavai/faze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/faze/35235270
http://linked.open...vavai/hlavni-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/BL
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/obor/BH
http://linked.open...vavai/id-aktivity	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/aktivita/KJ
http://linked.open.../vavai/id-souteze	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/soutez/SAV02003-XJ
http://linked.open...n/vavai/kategorie	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/kategorie/1
http://linked.open...vai/klicova-slova	hollow cathode; plasma jet; ferroelectric thin films; reactive sputtering; Langmuir probe; emission spectroscopy (en)
http://linked.open...nujicich-prijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...avai/poskytovatel	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/poskytovatel/AV0
http://linked.open...ai/statni-podpora	1316 (xsd:integer)
http://linked.open...vavai/typProjektu	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/typ/P
http://linked.open...ai/uznane-naklady	1316 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu	1 (xsd:integer)
http://linked.open...cet-spoluprijemcu	0 (xsd:integer)
http://linked.open...ai/pocet-vysledku	6 (xsd:integer)
http://linked.open...ku-zverejnovanych	6 (xsd:integer)
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2003/KJB1010302/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2004/KJB1010302/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2005/KJB1010302/ico-68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/2006/KJB1010302/ico-68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 112 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software