About: Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • The development of novel and modified thin film deposition techniques, study of their possibilities and characterization of discharge plasma is very important for creation of new types of thin films, multilayers, complex and doped layers, graded coatings, waveguiding films, nanostructures, etc. The improvement of present deposition systems, and construction of new hybrid deposition techniques, is necessary. Our attention will be focused on development of systems combining pulsed laser deposition witah concentrated RF and hollow cathode discharges, and magnetron sputtering. The RF biasing and laser modification of the film surface sill be also applied to inhance density and crystallization of the growing films. Formation processes in discharge plasma will be studied by diode-laser spectroscopy, OES, Langmuir probes and CCD camera. Films will be characterized by WDX, XRD, XPS, STM, SEM, Raman spectroscopy and spectroscopic ellipsometry. Microhardness and adhesion will be also tested. (en)
  • Vývoj nových a modifikovaných depozičních technik, studium jejich možností a charakterizace plazmy jsou velmi důležité pro tvorbu nových typů tenkých vrstev a multivrstev, složitých a dopovaných vrstev, gradovaných pokrytí a vrstev s proměnným materiálovým profilem, vlnovodových vrstev, nanostruktur, atd. Tyto úkoly vyžadují zdokonalení současné depoziční techniky a vývoj nových hybridních depozičních systémů. Naše pozornost bude soustředěna na vývoj systémů kombinujících pulsní laserovou depozici s RF výboje, výbojem v duté katodě a s magnetronovým naprašováním. Zlepšené krystalizace a zhutnění vrstev bude dosaženo pomocí RF polarizace a laserové modifikace povrchu podložky. Procesy ve výbojovém plazmatu budou studovány pomocí diodové laserové spektroskopie, OES, Langmuirovských sond a CCD kamery. Vrstvy budou charakterizovány pomocí WDX, XRD, XPS, STM, SEM, Ramanovské spektroskopie a spektroskopické elipsometrie. Měřeny budou také mikrotvrdost a adheze vrstev. (cs)
Title
  • Nové laserové hybridní technologie pro depozici tenkých vrstev (cs)
  • Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition (en)
http://linked.open...lsi-vedlejsi-obor
http://linked.open...avai/druh-souteze
http://linked.open...domain/vavai/faze
http://linked.open...vavai/hlavni-obor
http://linked.open...vai/vedlejsi-obor
http://linked.open...vavai/id-aktivity
http://linked.open.../vavai/id-souteze
http://linked.open...n/vavai/kategorie
http://linked.open...vai/klicova-slova
  • Pulsed laser deposition; thin films; laser plasma; hybrid deposition techniques; radiofrequency discharge; hollow cathode discharge; optical emission spectroscopy; magnetron sputtering; plasma processes (en)
http://linked.open...nujicich-prijemcu
http://linked.open...avai/poskytovatel
http://linked.open...ai/statni-podpora
http://linked.open...vavai/typProjektu
http://linked.open...ai/uznane-naklady
http://linked.open...ai/pocet-prijemcu
http://linked.open...cet-spoluprijemcu
http://linked.open...ai/pocet-vysledku
http://linked.open...ku-zverejnovanych
is http://linked.open...ain/vavai/projekt of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 112 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software