About: SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	We have developed deposition technology and implementation of multilayer system of molybdenum and silicon prepared by magnetron sputtering. Interface roughness has to be smaller than 0.2 nm and reproducibility of bilayer thickness (i.e. molybdenum and silicon) must be better that 0.1nm. This multilayer system was used as a mirror in x-ray laser PALS. (en) Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému střídajícího ve dvouvrstvách molybden a křemík vytvořeného magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,2 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru pro experimenty v rentgenovém laseru PALS. 0,2 nanometry. Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému střídajícího ve dvouvrstvách molybden a křemík vytvořeného magnetronovým naprašováním tak, aby drsnost rozhraní uvedených vrstev nepřesahovala 0,2 nanometry a reprodukovatelnost tlouštěk dvouvrstev byla lepší než jedna desetina nanometru pro experimenty v rentgenovém laseru PALS. 0,2 nanometry. (cs)
Title	SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system (en) SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému (cs)
skos:prefLabel	SMV-2013-29: Deposition technology and implementation of multilayer system (en) SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému SMV-2013-29: Návrh technologie přípravy a realizace mnohovrstvého systému (cs)
skos:notation	RIV/68081731:_____/13:00426279!RIV14-AV0-68081731
http://linked.open...avai/riv/aktivita	N
http://linked.open...avai/riv/aktivity	N
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Sobota, Jaroslav
http://linked.open.../riv/druhVysledku	V/S - Souhrnná výzkumná zpráva
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	105782
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081731:_____/13:00426279
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	EUV mirror; sputtering; molybdenum; silicon (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	EUV mirror sputtering silicon molybdenum
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[7557EB0F8B85]
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Brno
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BH
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Sobota, Jaroslav
number of pages	3 (xsd:int)

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 112 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software