About: An Injector for modification of process gases flow direction in diffusion reactors

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: An Injector for modification of process gases flow direction in diffusion reactors Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	An injector that modifies the process gases flow direction in diffusion reactors is used in the manufacturing process of th thin layers for semiconductor technologies in process furnaces. Injector controls flow direction of process gases in diffusion reactor so that there wouldn`t appear a sedimentation of reactants in diffusion reactor`s inner side (that is made from quarty tube) at reactor`s colder parts near inlet. (en) Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů do difúzního reaktoru tak, aby na jeho chladnějších místech na vstupu nedocházelo k usazování reaktantů na vnitřní straně těla difúzního reaktoru, které je tvořeno křemennou trubicí. Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů do difúzního reaktoru tak, aby na jeho chladnějších místech na vstupu nedocházelo k usazování reaktantů na vnitřní straně těla difúzního reaktoru, které je tvořeno křemennou trubicí. (cs)
Title	An Injector for modification of process gases flow direction in diffusion reactors (en) Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech (cs)
skos:prefLabel	An Injector for modification of process gases flow direction in diffusion reactors (en) Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech Injektor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech (cs)
skos:notation	RIV/27711170:_____/13:#0000030!RIV14-TA0-27711170
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(TA01020972)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Piják, Anton Martinek, Pavel Hrnko, Lukáš
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/B - Funkční vzorek
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	V případě implementace extraktoru do vysokoteplotních pecí SVFur se předpokládá 2% nárůst ceny v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o. Implementace tohoto funkčního vzorku v dané problematice zároveň posiluje kredit výrobce zařízení (SVCS) u svých zákazníků.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	80236
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/13:#0000030
http://linked.open...terniIdentifikace	SV-DR-INJCTR
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	diffusion reactor; injector (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	injector diffusion reactor
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[28BD5E9237BF]
http://linked.open.../licencniPoplatek	Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Modification of the particular technology facilities of the batch processes for the yield enhancement of the highly efficient silicon solar cells using the numerical and physical pre- and post-processing models CFD-ACE+ and Flow Simulation.
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...echnickeParametry	Řešení spočívá v instalaci injektoru se stínícími clonami. Injektor je tvořen křemennou trubičkou s jedním nebo více vstupy, která odvádí a rozfukuje procesní plyny do teplejší části reaktoru. K zamezení zpětného proudění reaktantů směrem ke vstupu je na injektor zavěšena jedna nebo více clon, které jsou tvořeny kruhovými křemennými skly. Vstupní část reaktoru může být dále odstíněna vložkou z odolnějšího materiálu (SiC).
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Bařinka, Radim Martinek, Pavel Poruba, Aleš Piják, Anton Hrnko, Lukáš
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	P - Nabytí licence je nutné v některých případech

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 91 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software