Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků.
- Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. (cs)
- In this paper a new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on descrition of the preparation microcompressive specimens. The thin Al film was studied,. The cylindrical pillars had diameter about 1.3. micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparation of the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time poing of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompresive test. (en)
|
Title
| - Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
- Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků (cs)
- Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam (en)
|
skos:prefLabel
| - Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
- Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků (cs)
- Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam (en)
|
skos:notation
| - RIV/00216305:26210/09:PU86380!RIV11-MSM-26210___
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/00216305:26210/09:PU86380
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - focused ion beam, microcompresion, thin films (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
| |
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Kruml, Tomáš
- Kuběna, Ivo
- Vystavěl, Tomáš
|
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
| |
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
| |
number of pages
| |
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
| |
https://schema.org/isbn
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |