About: Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA202/06/0216
Description	The hybrid laser deposition method (H-PLD) of thin layers is a new deposition technology combined the pulsed laser deposition with applied discharges or sources of plasma (DC, RF, hollow cathode discharges, combination with magnetrone, etc.). The H-PLD method is already well-understood and provides thin layers with the required quality. However, the basic physical and chemical processes constituting the described process have not been fully elucidated. The goal is to employ spectroscopic methods to obtain basic information on the presence of reactive molecules in the H-PLD plasma and on the dynamics of propagating of the plasma plume at medium pressures (units to hundreds of Pa) and to further improve the method on the basis of the information obtained. The main target is a more detailed understanding of chemical and physical phenomena in the H-PLD process, monitoring of the formation of chemical intermediates and an attempt at detection and spectroscopic identification of species that have (en) Metodika hybridní laserové depozice (H-PLD) tenkých vrstev je novou depoziční technikou kombinující pulzní laserovou depozici s dalšími výboji či zdroji plazmatu (DC a RF výboj, výboj v duté katodě, kombinace s magnetronem, aj.). V některých případech jedepoziční část této technologie zvládnuta a poskytuje speciální tenké vrstvy požadovaných kvalit. Základní fyzikální a chemické děje tvořící popisovaný proces však nejsou dosud zcela objasněny. Cílem předkládaného projektu je pomocí spektroskopických a dalších metod získat základní informace o přítomnosti reaktivních molekul (specií) v H-PLD plazmatu a dynamice šíření plazmatického oblaku při středních tlacích (jednotky až stovky Pa) a na základě získaných informací metodu depozice dále zdokonalit. Hlavním cílem je podrobnější pochopení chemických a fyzikálních jevů v H-PLD procesu, sledování vzniku chemických meziproduktů a pokus o detekci a spektroskopickou identifikaci dosud experimentálně nepozorovaných specií např. karbidů a nitridů
Title	Study of plasma formed in hybrid arrangement of pulsed laser deposition (en) Studium plazmatu vznikajícího při hybridní modifikaci pulzní laserové depozice
skos:notation	GA202/06/0216
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F06%2F0216/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F06%2F0216/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2009-10-22 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	68674230
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	plasma; pulsed laser deposition (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Matematicko-fyzikální fakulta
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	2 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	22 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	22 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2008-04-25 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/202%2F06%2F0216
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2008
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2009
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02006GA-ST
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2008-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2006-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	The main purpose of the Project was the detailed understanding of the physical-chemistry phenomena of the Hybrid pulsed laser deposition process, the investigation of the interlude products and consequent spectroscopic identification of possible new spec (en) Hlavním účelem projektu bylo podrobné pochopení fyzikálně-chemických dějů v H-PLD procesu (Hybridní pulzní laserová depozice), sledování meziproduktů děje a s tím související spektroskopická identifikace dosud experimentálně nepozorovaných spécií. Součas (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	plasma
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2006/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2006/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2006/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2007/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2007/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2007/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2008/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2008/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2008/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2009/ico%3A61388955 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2009/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F06%2F0216/2009/orjk%3A11320

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 112 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software