About: Study of nondestructive methods of imaging in scanning electron microscopy by means of interaction and detection of low energy electrons

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Study of nondestructive methods of imaging in scanning electron microscopy by means of interaction and detection of low energy electrons Goto Sponge Distinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=IAA2065703
Description	The aim of the project is to gain more detailed or new information about the micr.character of specimens,esp. biolog. and electr.ones,which suffered damage when high energy electron microscopical methods were used for their investigation.From the methodol.point of view,the project concentrates on the use of low energy electrons for interaction with the specimen so a lower damage and smaller chaarging effects occur.The project deals with the problems of deceleration of the energy of primary electrons incident on the specimen,extraction of signal electrons toward the detector and their efficient detection by single crystal scintillators.The contributions of the project will be new knowledge about the interaction mechanisms between low energyelectrons and a solid,realization of detector systems of signal electrons of new conception by making use of an immersion lens,single-pole lens and quadrupole system,and verification of their performance at achieving new image information. (en) Podstata navrhovaného projektu spočívá v získání dokonalejších resp. nových informací o mikrostrukturální povaze vzorků, které jsou dříve používanými mikroskopickými metodami vysokých energií elektronů pokovovány. Jedná se zejména o biologické a elektrotechnické vzorky. Z metodologického hlediska se projekt soustřeďuje na využití elektronů nízkých energií interagujících se vzorkem téměř bez poškození a s menšími nabíjejicími projevy. Projekt řeší problém brždění energie primárních elektronů dopadajících na vzorek, odsávání signálních elektronů směrem k detektoru a jejich účinnou detekci pomocí monokrystalických scintilátorů. Přínosem navrhovaného projektu je získání poznatků o interakčních mechanismech mezi nízkoenergiovými elektrony a pevnou látkou, realizace nově koncipovaných detektorových systémů signálních elektronů s využitím imerzní čočky, jednopolové čočky, kvadrupolového systému a ověření jejich činnosti při dosažení nových obrazových informací.
Title	Study of nondestructive methods of imaging in scanning electron microscopy by means of interaction and detection of low energy electrons (en) Studium nedestruktivních metod zobrazování v rastrovací elektronové mikroskopii pomocí interakce a detekce elektronů s nízkou energií
skos:notation	IAA2065703
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Grants of distinctly investigative character focused on the sphere of research pursued at present particularly in the Academy of Sciences of the Czech Republic
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IAA2065703/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IAA2065703/celkoveNaklady
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	501872
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BH - Optika, masery a lasery
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	8 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	8 (xsd:int)
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2000
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2000
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Byly vyvinuty metody pozorování elektricky nevodivých elektrotechnických a biologických vzorků, prostudovány zobrazovací vlastnosti detekčních systémů s retardery primárního el. svazku, zjištěny selekční principy pro jednotlivé typy signálních elektronů. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Optimization of the BSE Detector for LVSEM. Detector of backscattered electrons for low energy scanning electron microscopy. Application of noncharging microscopy in semiconductor fabrication. Noncharging Microscopy of Semiconductor Structures. The Separation of Secondary Electrons in Annular and Planar Detectors. The imaging using a cathode lens in LVSEM. Simple BSE detector for LVSEM. N/A
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/1997/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/1997/orjk%3A26220 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/1998/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/1998/orjk%3A26220 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/1999/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/1999/orjk%3A26220 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IAA2065703/2000/ico%3A68081731

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 19 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software