About: Sputtering of Thin Films at Very Low Pressures

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Sputtering of Thin Films at Very Low Pressures Goto Sponge Distinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA202/93/0508
Description	Cílem projektu je prozkoumání mechanismu nízkotlakového rozprašování (NTR) vybraných materiálů při tlacích rozprašovacího plynu řádově nižších než cca O,1 Pa a nalezení fyzikálních omezení NTR. Projekt se soustředí zejména na (1) prozkoumání rozprašovánív přítomnosti pomocného vf a mikrovlnného výboje a výzkum ionizace pracovní atmosféry s využitím ECR a helikonových elektromagnetických vln, (2) teoretický rozbor NTR a selfsputteringu, (3) výzkum a vývoj nových rozprašovacích zdrojů pro NTR a to i pro eromagnetické materiály, (4) prokázání možnosti selfsputteringu vybraných materiálů, jak prvků tak slitin, (5) diagnostiku plazmatu při NTR, zejména výzkum ionizace rozprašovaného materiálu a (6) srovnání vlastností a mikrostruktury vybraných vrstev vytvřených bombardem iontů plynu a kovu.
Title	Sputtering of Thin Films at Very Low Pressures (en) Naprašování vrstev při velmi nízkých tlacích
skos:notation	GA202/93/0508
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F93%2F0508/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F93%2F0508/celkoveNaklady
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	148684
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	2 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	1 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	1 (xsd:int)
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	1996
http://linked.open...atUdajeProjZameru	1996
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
http://linked.open...jektu+dodavatelem	XXX (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	.BKU
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	The structure of Cu-Al films prepared by unbalanced DC magnetron sputtering.
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1994/ico%3A49777513 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1994/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1994/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1995/ico%3A49777513 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1995/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1995/orjk%3A11320 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1996/ico%3A49777513 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1996/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F93%2F0508/1996/orjk%3A11320

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software