Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
rdfs:seeAlso
| |
Description
| - Within this project questions related to the characterization of thin films will be addressed. Particular tasks are as follows: - traceability, intercomparison and validation of methods used for determination of material properties relevant for thin film systems, - development and evaluation of measurement methods for difficult layered systems, - metrology applicable on the manufacturing quality control. Within the project, CMI will deal with reflectance measurement on large areas of a sample. It is a method known as digital reflectometry with the help of which it is possible to calculate a set of reflectometric spectra from a series of images acquired under illumination with light of different wavelengths. From the reflectometric spectra it is then possible to calculate the optical properties of the sample such as index of refraction, extinction coefficient or thickness of the thin film on large sample area (ca 1 cm2). (en)
- V rámci projektu se řeší otázky charakterizace tenkých vrstev. Jednotlivé úkoly jsou následující: - návaznost, vzájemné srovnání a validace metod při určování materiálových vlastností relevantních pro tenkovrstevnaté systémy, - vývoj a vyhodnocení metod měření pro složité vrstevnaté systémy, - metrologie aplikovatelná při kontrole kvality ve výrobním procesu. ČMI se bude v rámci projektu zabývat měřením odrazivosti na velké ploše vzorku. Jedná se metodu známou jako digitální reflektometrie, kdy ze serie fotek vzorku osvětleného světlem o různých vlnových délkách, lze sestavit sadu reflektometrických spekter, ze které se pak určí optické vlastnosti vzorku jako např. index lomu, index absorpce či tloušťky tenké vrstvy na velké ploše vzorku (cca 1 cm2).
|
Title
| - Metrology for the manufacturing of thin films (en)
- Metrologie při výrobě tenkých vrstev
|
skos:notation
| |
http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - thin films; traceability; digital reflectometry (en)
|
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
http://linked.open...n/vavai/cep/vyzva
| |
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| |
is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |