Attributes | Values |
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rdf:type
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Description
| - In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE (cs)
- Die in-situ Reflektometrie ist eine etablierte Methode, um die Morphologieentwicklung und den Einfluss der Wachstumsparameter bei der Epitaxie von Gruppe III-Nitriden zu beobachten. Seit kurzem ist es zusätzlich möglich, die absolute Oberflächentemperatur transparenter Substrate mittels emissivitätskorrigierter Pyrometrie zu bestimmen. Die Temperaturabhängigkeit der SiC Bandlücke wird dabei zur Kalibrierung eingesetzt. In diesem Beitrag wird die neue Methode vorgestellt, der nunmehr beobachtbare Einfluss der Wachstumsparameter auf die absolute Oberflächentemperatur bestimmt, sowie die Auswirkungen auf die Epitaxie diskutiert.
- In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN (en)
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Title
| - In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE (cs)
- In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN (en)
- Přednáška: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinflüssen auf die MOVPE von GaN
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skos:prefLabel
| - In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE (cs)
- In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN (en)
- Přednáška: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinflüssen auf die MOVPE von GaN
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skos:notation
| - RIV/60461373:22310/05:00015167!RIV06-MSM-22310___
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http://linked.open...avai/riv/aktivita
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http://linked.open...avai/riv/aktivity
| - P(GA104/03/0387), Z(MSM6046137302)
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http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/60461373:22310/05:00015167
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - MOVPE; GaN; AlGaN; Růst; In-situ monitorování; reflektance; určení složení (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
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http://linked.open...vavai/riv/projekt
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http://linked.open...UplatneniVysledku
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http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Sofer, Zdeněk
- Hardtdegen, Hilde
- Cho, Yong Suk
- Kaluza, Nicoleta
- Steins, Roger
- Haberland, Karl
- Zettler, J. T.
- Zorn, Michael
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http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
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http://localhost/t...ganizacniJednotka
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