Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Thermal node in equipment for atmospheric and LPCVD processes in semiconductor manufacturing consists of a cylindrical, horizontally stored heating cartridge, measuring lines for temperature control and the control processor. Further technical improvements of this node is based on a research, whose output is a mathematical model of temperature field heating cartridges and derivative control algorithm. (en)
- Tepelný uzel v zařízeních pro atmosférické a LPCVD procesy ve výrobě polovodičů je tvořen válcovitou, horizontálně uloženou topnou kazetou, měřicími trasami pro kontrolu teploty a řídícím procesorem. Další technické zdokonalení tohoto uzlu je podmíněno výzkumem, jehož výstupem je matematický model teplotního pole topné kazety a z něj odvozeným algoritmem řízení.
- Tepelný uzel v zařízeních pro atmosférické a LPCVD procesy ve výrobě polovodičů je tvořen válcovitou, horizontálně uloženou topnou kazetou, měřicími trasami pro kontrolu teploty a řídícím procesorem. Další technické zdokonalení tohoto uzlu je podmíněno výzkumem, jehož výstupem je matematický model teplotního pole topné kazety a z něj odvozeným algoritmem řízení. (cs)
|
Title
| - Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení
- Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení (cs)
- Research on mathematical model of thermal node and its control algorithm (en)
|
skos:prefLabel
| - Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení
- Výzkum matematického modelu tepelného uzlu a algoritmu jeho řízení (cs)
- Research on mathematical model of thermal node and its control algorithm (en)
|
skos:notation
| - RIV/26218445:_____/10:#0000001!RIV11-MPO-26218445
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...onomickeParametry
| - Finanční efekt za 2009 a 2010 činí navýšení obratu, v segmentu výrobků a služeb s nimi spojených o 1,8 mil. Kč
|
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/26218445:_____/10:#0000001
|
http://linked.open...terniIdentifikace
| |
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open...vai/riv/kategorie
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Semiconductor devices production LPCVD processes equipements temperature and mass flow control research ane developement (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...okalizaceVysledku
| - SVCS Process Innovation s.r.o. Na Potuckach 163 757 01 Valasske Mezirici Czech Republic
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...echnickeParametry
| - Byla vytvořena 2 pracovní místa – vývoj SW a HW řídících systémů. V 2011 vytvoření 1 místa pro budované pracoviště kalibrační laboratoře pro termočlánky. Zavedení výroby tepelně izolačních prvků dle návrhu a dokumentace od SVCS v kooperaci v rámci ČR
|
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Dolák, Jaroslav
- Joštic, Miroslav
- Lukašík, Pavel
- Mareš, Gustav
- Piják, Anton
- Šrámek, Miroslav
- Skalková, Veronika
|
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |