About: New low temperature plasmatic technologies of thin films deposition at atmospheric pressure

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: New low temperature plasmatic technologies of thin films deposition at atmospheric pressure Goto Sponge Distinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=IBS1010203
Description	Proposed project will be devoted to applied research and development of the new environmentally safe plasmatic technologies of thin films at the low temperatures of the substrate T< 80 deg C. New systems with plasma jets working at atmospheric pressures will be developed. Although research and development deals with these problems, this technology was not satisfactory mastered up to now. Main effort will be concentrated on the optically transparent thin oxide films deposited on plastic substrates. Particularly, it will be deposited doped ZnO, In2O3:Sn thin films and others similar which are suitable and required in industry applications. The next kind of deposited materials will be anti corrosive barrier coatings of aluminum alloys by Al2O3 and CeO2 films. 'In situ' measurement of plasma parameters and thin films properties will be correlated in order to optimize the deposition process. (en) Navrhovaný projekt bude zaměřen na cílený výzkum a vývoj nových ekologických plazmatických technologií depozice tenkých vrstev při udržení nízkých teplot substrátu T < 80 st C. Vyvíjeny budou různé systémy s proudícími plazmovými kanály pracujících za atmosférického tlaku. Přestože výzkum a vývoj je v poslední době intenzivně zaměřen v tomto směru, problém těchto technologií nebyl dosud uspokojivě zvládnut. Pozornost bude zaměřena na tenké vrstvy opticky transparentních vodivých oxidů deponované na plastové substráty. Konkrétně půjde o dopované ZnO, In2O3:Sn vrstvy a podobně, které jsou vhodné a žádané pro aplikace v průmyslu. Další cílovým druhem deponovaných materiálů budou antikorozní bariérové povlaky hliníkových slitin vrstvami Al2O3 a CeO2. Měření vlastností plazmatu přímo při depozici a parametrů vrstev bude využito k optimalizaci depozičního procesu.
Title	New low temperature plasmatic technologies of thin films deposition at atmospheric pressure (en) Nové nízkoteplotní plazmatické technologie depozice tenkých vrstev za atmosférického tlaku
skos:notation	IBS1010203
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Scheme of targeted research and development support
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IBS1010203/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/IBS1010203/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2006-06-19 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	33638340
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	NV - Aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového výzkumu (tzv. %22neprůmyslový výzkum%22)
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	atmospheric plasma;thin films deposition;plasma jet;barrier coatings;ellipsometry;emission spectroscopy (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	8 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	8 (xsd:int)
http://linked.open...okUkonceniPodpory	2005
http://linked.open...okZahajeniPodpory	2002
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2006
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2006
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SAV02002-S
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JB - Senzory, čidla, měření a regulace JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
http://linked.open...jektu+dodavatelem	V rámci projektu byla vyvinuta plazmatická technologie depozice tenkých vrstev za nízké teploty a atmosférikého tlaku. Ta byla aplikována na depozici SnO, ITO a ZnO na polymerové substráty a depozici vrstev CeO2, Al2O3 a TiO2 na kovy. (cs) Plasmatic technology of low temperature thin film deposition at atmospheric pressure was developed in this project. This technology was applied for deposition of SnO, ITO, ZnO films on polymer substrate and deposition of CeO2, Al2O3, TiO2 on metals. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	ellipsometry plasma jet atmospheric plasma barrier coatings thin films deposition
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IBS1010203/2002/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IBS1010203/2003/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IBS1010203/2004/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IBS1010203/2005/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/IBS1010203/2006/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software