Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
rdfs:seeAlso
| |
Description
| - Cílem projektu je příprava tenkovrstvých materiálů s unikátními fyzikálními a funkčními vlastnostmi. Budou syntetizovány užitím nových vysokovýkonových pulzních magnetronových naprašovacích technik bez nutnosti vysokého záporného předpětí substrátů, vysokých teplot substrátů a ohřevu po depozici. Výhody nových magnetronových technik se silně ionizovaným pulzním plazmatem budou využity při vysokorychlostní depozici densifikovaných oxidů (např. HfO2 a Al2O3) a oxynitridů (např. HfON) s řízenou strukturou a vlastnostmi a oxynitridových povlaků s nanoklastry na povrchu (např. TaON s nanoklastry Cu, Ag a Ni s vysokým potenciálem vytvářet po ozáření viditelným světlem vodík a kyslík z vody). Pulzní magnetronové techniky budou využity také při přípravě nových multifunkčních materiálů (multikomponentní nitridy a oxynitridy) ze systému Hf(Ta)(Si)BCN(O). Budou objasněny korelace mezi procesními parametry a prvkovým složením, strukturou a vlastnostmi vytvořených materiálů.
- The aim of the project is to prepare thin-film materials with unique physical and functional properties. They will be synthesized using new high-power pulsed magnetron sputtering techniques without the need for high substrate bias voltages, high substrate temperatures and post-deposition annealing. Benefits of the new magnetron sputtering techniques with highly ionized pulsed plasmas will be utilized in a high-rate reactive deposition of densified oxides (such as HfO2 and Al2O3) and oxynitrides (such as HfON) with controlled structure and properties, and oxynitride coatings with nanoclustered surfaces (such as TaON with Cu, Ag and Ni nanoclusters, having a potential to produce H2 and O2 from water under visible light irradiation). The pulsed magnetron sputtering techniques will be also used for preparation of new multifunctional thin-film materials (multicomponent nitrides and oxynitrides) from the Hf(Ta)(Si)BCN(O) system. The correlations between process parameters and the elemental composition, structure and properties of the formed materials will be explained. (en)
|
Title
| - Nanostructured multifunctional coatings prepared using highly ionized pulsed plasmas (en)
- Nanostrukturní multifunkční povlaky připravené užitím silně ionizovaného pulzního plazmatu
|
skos:notation
| |
http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - Nanostructured coatings, Magnetron sputtering, Highly ionized plasmas, Densified oxides, Oxynitrides, Multicomponent nitrides, Nanoclusters, Hardness, Optical transparency, Dielectric constant, Thermal stability, Oxidation resistance, Photoactivity, Hig… (en)
|
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - Nanostructured coatings
- Densified oxides
- Dielectric constant
- Hardness
- Highly ionized plasmas
- Magnetron sputtering
- Multicomponent nitrides
- Nanoclusters
- Optical transparency
- Oxidation resistance
- Oxynitrides
- Photoactivity
- Thermal stability
|
is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |