Projekt si klade za cíl navrhnout a zkonstruovat kompaktní měřící optické zařízení k plošnému in-situ měření tlouštěk a optických konstant tenkých vrstev. Funkce tohoto měřícího přístroje, jenž je založen na originální metodě detekce odraženého bílého světla CCD kamerou, bude optimalizována ve spojení se stávající vakuovou depoziční aparaturou, využívající k depozici tenkých vrstev dva širokosvazkové iontové zdroje Kaufmanova typu. Získané poznatky budou následně využity k řízení depozičního procesu aumožní tak uskutečnění cílených technologických zásahů v průběhu růstu vrstevnatého systému. Nespornou předností navrhovaného zařízení je jeho univerzálnost - principiálně jej bude možno využít k in-situ analýzám deponovaných tenkých vrstev vytvořených ijinými výše zmíněnými iontově-svazkovými technologiemi. Část návrhů jednotlivých komponent bude zajištěna diplomovými projekty studentů oboru fyzikálního inženýrství ÚFI FS Brno a náplní navazujícího doktorandského studia Realizace navrhovaného měřícího (cs)
The project proposal is aimed at a design and construction of the compact equipment for in-situ measurement of thin film surface homogeneity. This equipment consists of a stable source of white light, CCD camera and dual spectrophotometer. The function of the instrument (based on an original method of the detection of the white light scattered from the growing thin film in a CCD camera) will be verified via its installation onto a vacuum deposition chamber containing two Kaufman's broad ion beam source- (IBAD). The results will be utilized in the deposition process control and thus we should be able to prepare the multilayer structures with a defined optical properties. The advantage of the apparatus is its wide applicability for in-situ control of thin films deposited by other technologies. In the project students of the Master and PhD degree cource will be involved. (en)