The main goal of the project is the study of organosilicone molecules fragmentation in RF plasma. Besides the experimental work the numeric ab initio simulation of the organosilicone molecular states and their fragments will be completed. The results will be used in the field of plasma deposition of thin layers. (en)
Cílem projektu je studium fragmentace organosilikonových molekul v FR plazmatu. Kromě experimentální práce budou probíhat ab inition výpočty molekulárních stavů organosilikonů a jejich fragmentů. Výsledky práce budou využity v oblasti plazmochemické depozice tenkých vrstev.
Řešený projekt potvrdil použitelnost ab initio výpočtů pro větší molekuly na základě nově vytvořené metodiky. Teoretické fragmentační energie byly porovnány s experimentálními daty, přičemž bylo dosaženo dobré shody. (cs)
The solved project confirmed applicability of ab initio calculation for bigger molecules and the methodology was developed. The theoretical fragmentation energies were compared with experimental data and a good coreelation was obtained. (en)