About: Investigation of plasmochemical reactions processes during a plasmochemical deposition of thin film on solid state

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Investigation of plasmochemical reactions processes during a plasmochemical deposition of thin film on solid state Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz:8890 associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GA202/96/0508
Description	Deposition of shard and ultra hard films in decay plasma discharges and in plasma of the unipolar high frequency discharges. The investigate conditions under which arise hexagonal, cubic and amorphous BN. To measure temperature field of the discharges and properties of the films too. Measurement of rate constants for different types of elementary and plasmochemical reactions and recombinations coefficients for hydrogen, nitrogen, oxygen as a function of temsperature usisng the electron paramagnetic resonance. To measure rate constant with emphassis on reactions of siloxans and silasans with atomic nitrogen and oxygen. To test a standard burner combined with superposed hf field as a new atomiser. To measured the isothermic degree in different points of this discharge. Properties of the films will be investigated, too. (en) K vytváření tvrdých a supertvrdých vrstev využít rozpadajícího se plazmatu a vysokofrekvenčního výboje typu plasma jet. Prostudovat podmínky vzniku hexagonálního, kubického a amorfního BN. Vyšetřit základní vlastnosti depozitů a teplotní pole výbojů. Optimalizovat procesy. Pomocí elektronové paramagnetické rozonance měřit v dohasínajícím plazmatu reakční rychlostní konstanty, koeficienty stěnové rekombinace atomů H, N, O v závislosti na teplotě. Zaměřit se na reakce siloxanů a silazanů a s atomárním dusíkem a kyslíkem. Ověřit využití kombinovaného konvenčního hořáku se superponovaným vf polem jako atomizéru. Proměřit stupeň izotermičnosti v různých oblastech tohoto plazmatu. Diagnostiku plazmatu provádět i při depozicích a vyhodnocovat současně vlastnosti vzniklých substrátů.
Title	Investigation of plasmochemical reactions processes during a plasmochemical deposition of thin film on solid state (en) Studium kinetiky plazmachemických reakcí a procesů depozice tenkých vrstev na pevných substrátech plazmachemickou cestou
skos:notation	GA202/96/0508
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Standard projects
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F96%2F0508/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GA202%2F96%2F0508/celkoveNaklady
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	425079
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Masarykova univerzita
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	0 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	0 (xsd:int)
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	1999
http://linked.open...atUdajeProjZameru	1999
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BH - Optika, masery a lasery BN - Astronomie a nebeská mechanika, astrofyzika
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Projekt přispěl k porozumění interakce plazma-stěna a mechanizmu vzniku elektrických výbojů. Charakteristiska výsledků je adekvátně uvedena v Závěrečné kartě projektu. Projekt má význam pro aplikace (depozice tvrdých ochranných vrstev) a byl významně vyu (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F96%2F0508/1996/ico%3A00216224 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F96%2F0508/1997/ico%3A00216224 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F96%2F0508/1998/ico%3A00216224 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GA202%2F96%2F0508/1999/ico%3A00216224

Faceted Search & Find service v1.16.121 as of Mar 31 2025

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Mar 31 2025, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 39 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2025 OpenLink Software