About: SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications   Goto Sponge  NotDistinct  Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
rdfs:seeAlso
Description
  • 1) Applied research of advanced semiconductor materials and structures and experimental development of technologies for their manufacturing, especially advanced technology of Silicon-On-Insulator (SOI) manufacturing and bonding of silicon wafers for SOI. 2) Applied research and development of advanced methods for characterization of bulk and surface properties of semiconductor materials and structures (IR checking of bonding quality, complex metrology of SOI, measurement of minor carrier lifetime).
  • 1) Aplikovaný výzkum progresivních polovodičových materiálů a struktur a experimentální vývoj technologií jejich výroby se zaměřením na pokročilou technologii výroby Silicon-On-Insulator (SOI) a na bonding křemíkových desek pro SOI. 2) Aplikovaný výzkum a vývoj nových metod charakterizace objemových i povrchových vlastností polovodičových materiálů a struktur (IR kamera pro měření kvality bondingu, komplexní metrologie struktury SOI, měření doby života minoritních nositelů náboje).
Title
  • SOI Structures for Advanced Semiconductor Applications
  • Struktury SOI pro pokročilé polovodičové aplikace
skos:notation
  • TA01010078
http://linked.open...avai/cep/aktivita
http://linked.open...kovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV
http://linked.open...i/cep/druhSouteze
http://linked.open...ep/duvernostUdaju
http://linked.open.../cep/fazeProjektu
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
http://linked.open...hodnoceniProjektu
http://linked.open...vai/cep/kategorie
http://linked.open.../cep/klicovaSlova
  • BGSOI; BESOI; BOX; bonding; grinding; Silicon; silicon wafer; etchning; polishing; semiconductors; SOI; SOI wafer
http://linked.open...ep/partnetrHlavni
http://linked.open...inujicichPrijemcu
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
http://linked.open...enychVysledkuVRIV
http://linked.open...lneniVMinulemRoce
http://linked.open.../prideleniPodpory
http://linked.open...iciPoslednihoRoku
http://linked.open...atUdajeProjZameru
http://linked.open.../vavai/cep/soutez
http://linked.open...usZobrazovaneFaze
http://linked.open...ai/cep/typPojektu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
http://linked.open...ep/zahajeniReseni
http://linked.open...jektu+dodavatelem
  • The main factual results (G-functional sample / prototype Z-proven technology) have been met at a high technical level and to the extent necessary for the successful implementation of the project in excess of the original assignment. Two P- patents weren´t obtained by the date of the final proceedings.
  • Hlavní věcné výsledky (G-funkční vzorek/prototyp, Z-ověřená technologie) byly splněny na vysoké technické úrovni a v rozsahu potřebném pro úspěšnou realizaci projektu překračujícím původní zadání. Dva výsledky druhu P-patent nebyly dosaženy k datu závěrečného oponentního řízení.
http://linked.open...tniCyklusProjektu
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
  • BGSOI
  • BESOI
  • BOX
  • SOI
  • Silicon
  • bonding
  • etchning
  • grinding
  • polishing
  • semiconductors
  • silicon wafer
is void:exampleResource of
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of
Faceted Search & Find service v1.13.91 as of May 19 2016


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:       RDF       ODATA       Microdata      About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data]
OpenLink Virtuoso version 07.20.3217 as of May 10 2017, on Linux (x86_64-unknown-linux-gnu), Single-Server Edition (15 GB total memory)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2017 OpenLink Software